一體化微流體泵,屬于生物醫(yī)學(xué)微流體元器件,集流體驅(qū)動(dòng)、混合,化學(xué)反應(yīng)多功能為一體,以使得微分析系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化,降低成本。本實(shí)用新型包括硅基片和與其鍵合的封底玻璃片,硅基片上采用光刻方法制備泵腔及與其連通的兩個(gè)進(jìn)口擴(kuò)散管通道、一個(gè)出口擴(kuò)散管通道;硅基片的表面開(kāi)有液體進(jìn)水孔和液體出水孔,分別與兩個(gè)進(jìn)口擴(kuò)散管通道及出口擴(kuò)散管通道的末端連通;硅基片表面正對(duì)泵腔位置粘貼有壓電片;封底玻璃片泵腔位置粘貼有電加熱金屬片。本實(shí)用新型讓生物溶液和化學(xué)試劑溶液在流動(dòng)經(jīng)過(guò)微泵泵腔的同時(shí),完成混合和化學(xué)反應(yīng),從而省去單獨(dú)的混合反應(yīng)腔結(jié)構(gòu),這使得微分析系統(tǒng)結(jié)構(gòu)大為簡(jiǎn)化,成本可望降低20%~30%,并具有更好的工作可靠性。
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