本發(fā)明涉及一種利用數(shù)字剪切散斑干涉進(jìn)行無損檢測的方法及其裝置,其特征在于將激光束擴(kuò)束后照射在待測樣品的表面上,以線陣CCD掃描得到兩束散射光形成的待測樣品表面的兩個(gè)錯(cuò)開的散斑像H1,對(duì)待測樣品抽真空另一幅圖像H2,對(duì)抽真空前后的兩幅圖像H1和H2進(jìn)行相關(guān)運(yùn)算,得到圖像H3;對(duì)圖像H3采用均值濾波法或中值濾波法進(jìn)行濾波,當(dāng)圖像H4中出現(xiàn)蝴蝶斑形狀的干涉條紋時(shí)證明待測樣品出現(xiàn)損傷,否則證明待測樣品無損。利用線陣CCD推掃方法,可以根據(jù)待測樣品表面設(shè)計(jì)相應(yīng)的微位移平臺(tái)的移動(dòng)軌道,沿所述移動(dòng)軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現(xiàn)象,從而有效提高了缺陷檢測的靈敏度。
聲明:
“利用數(shù)字剪切散斑干涉進(jìn)行無損檢測的方法及其裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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