久久看看永久视频,日日狠狠久久偷偷色,亚洲中文字幕在线网,午夜福利院中文字幕

  • <dfn id="vuqxj"><td id="vuqxj"></td></dfn>
  • <dfn id="vuqxj"></dfn>

    1. <div id="vuqxj"><option id="vuqxj"><b id="vuqxj"></b></option></div>
    2. 合肥金星智控科技股份有限公司
      宣傳

      位置:中冶有色 >

      有色技術(shù)頻道 >

      > 失效分析技術(shù)

      > GOI失效點(diǎn)的檢測方法

      GOI失效點(diǎn)的檢測方法

      1094   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 08:59:31
      本發(fā)明提供了一種GOI失效點(diǎn)的檢測方法,包括:提供待測樣品,待測樣品包括襯底,襯底的表層包括多個(gè)淺溝槽隔離層及由淺溝槽隔離層隔離的多個(gè)實(shí)體部;覆蓋表層的柵氧化層;位于柵氧化層背離襯底一側(cè)的半導(dǎo)體層;及位于半導(dǎo)體層背離襯底一側(cè)的金屬連線層;將襯底背離柵氧化層一側(cè)減薄,直至裸露淺溝槽隔離層;采用電子束照射襯底的裸露所述淺溝槽隔離層的一側(cè),并基于電壓襯度分析法檢測待測樣品的GOI失效點(diǎn)。將襯底進(jìn)行減薄直至裸露實(shí)體部,從而獲取襯底裸露實(shí)體部一側(cè)的電壓襯度圖像;由于無任何結(jié)構(gòu)層對該實(shí)體部背離柵氧化層一側(cè)進(jìn)行遮擋,使得獲取的電壓襯度圖像更加精確,進(jìn)而保證基于電壓襯度分析法對GOI失效點(diǎn)的檢測更加精確。
      聲明:
      “GOI失效點(diǎn)的檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
      分享 0
               
      舉報(bào) 0
      收藏 0
      反對 0
      點(diǎn)贊 0
      標(biāo)簽:
      失效分析
      全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
      展開更多 +

       

      中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號
      了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
      中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺(tái)

      最新更新技術(shù)

      報(bào)名參會(huì)
      更多+

      報(bào)告下載

      第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
      推廣

      熱門技術(shù)
      更多+

      衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
      宣傳
      環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
      宣傳

      發(fā)布

      在線客服

      公眾號

      電話

      頂部
      咨詢電話:
      010-88793500-807
      專利人/作者信息登記