一種磁電聲表面波磁場傳感器及其制備方法,屬于電子
功能材料與器件技術(shù)領(lǐng)域,包括磁致伸縮基底,還包括金屬緩沖層及壓電薄膜,所述金屬緩沖層的材質(zhì)為金屬鈦或鉻,所述金屬緩沖層位于磁致伸縮基底與壓電薄膜之間,壓電薄膜上表面設(shè)有具有雙端口的叉指換能器,叉指換能器與壓電薄膜一起構(gòu)成聲表面波諧振器;所述叉指換能器包括輸入電極、輸出電極、位于輸入電極外側(cè)的輸入端反射柵和位于輸出電極外側(cè)的輸出端反射柵;所述壓電薄膜的厚度范圍為0.3~1μm,磁致伸縮基底的厚度大于2倍的聲表面波波長。采用高度取向的壓電薄膜、單軸各向異性和巨楊氏模量效應(yīng)的磁致伸縮帶材,實現(xiàn)傳感器微型化,靈敏度高,一致性好,制備方法簡單,適用于對磁場進行探測。
聲明:
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