一種TZO?WO
3包覆粉末的制備及其燒結(jié)方法。本發(fā)明屬于非金屬元素及其化合物。本發(fā)明公開了一種新的工藝來(lái)制備WO
3摻雜TZO靶材。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于用一種新的摻雜工藝來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的球磨摻雜,得到充分混合、均勻摻雜的粉體。適用于微量(0.2?0.5at%)的WO
3粉末摻雜,就可制備出致密度99%,強(qiáng)度大于118MPa,電阻率小于5×10
?3Ω·cm的摻雜TZO靶材,這種摻雜TZO靶材,可經(jīng)濟(jì)、高效的制成各種復(fù)雜形狀。TZO薄膜是一種被廣泛研究的
功能材料。TZO透明導(dǎo)電薄膜性能穩(wěn)定、制備簡(jiǎn)單、成本低廉等優(yōu)勢(shì),在光電學(xué)性能平板顯示領(lǐng)域得到了極其廣泛的應(yīng)用,是新一代透明導(dǎo)電膜,最有可能替代昂貴的ITO,在薄膜
太陽(yáng)能電池和low?E·玻璃等領(lǐng)域,正顯示出巨大的應(yīng)用前景和市場(chǎng)。
聲明:
“WO3包覆TZO粉體的制備及其燒結(jié)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)