本發(fā)明提出了一種雙片式石墨基壓阻式柔性壓力傳感器,包括第一紙張以及與其相粘合的第二紙張,所述第一紙張表面與第二紙張表面均涂覆有石墨薄膜,所述第二紙張的上表面設(shè)有石墨微納結(jié)構(gòu)以及與石墨微納結(jié)構(gòu)相連的微電極。當壓力作用在傳感器上表面時,上層石墨薄膜會與帶有微納結(jié)構(gòu)的石墨薄膜接觸,從而引起其電阻率發(fā)生的變化,此外,石墨微納結(jié)構(gòu)還會受到壓縮作用引起其能帶變化,從而進一步引起其電阻率發(fā)生明顯的變化(壓阻特性),從而實現(xiàn)了高靈敏度的力傳感。相比現(xiàn)有的柔性壓力傳感器,本發(fā)明利用低成本的石墨作為
功能材料制作柔性壓力傳感器并通過微納結(jié)構(gòu)及微納接觸敏感的方式實現(xiàn)高靈敏的壓力傳感,降低其響應(yīng)時間。
聲明:
“雙片式石墨基壓阻式柔性壓力傳感器及其制作工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)