本發(fā)明涉及光刻膠領(lǐng)域,尤其涉及一種光刻膠組合物、制備方法及圖案化方法。所述光刻膠組合物,包括以下組分:1~10wt%的感光劑;10~20wt%的酚醛樹脂;0.1~5.5wt%的添加劑;75~88wt%的溶劑;其中,所述感光劑包括:20~70wt%的式(1)所示的第一感光化合物,20~70wt%的式(2)所示的第二感光化合物,以及1~35wt%的式(3)所示的第三感光化合物。本發(fā)明的光刻膠組合物同時(shí)保證了分辨率以感度,以滿足實(shí)際生產(chǎn)的需求。經(jīng)過試驗(yàn)測(cè)試,本發(fā)明的光刻膠組合物的分辨率低于2.5微米,且最小分辨率可以達(dá)到1.5微米,同時(shí)感度較快,有利于精確圖案化,提高OLED顯示面板的產(chǎn)率。
聲明:
“光刻膠組合物、制備方法及圖案化方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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