一種基于CMUT的海洋生化物質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器及其制備與測(cè)量方法。其總體結(jié)構(gòu)由上而下為:上薄板,上空腔、振動(dòng)薄膜、下空腔、基座、敏感材料層、多孔下電極。所述上空腔和下空腔分別位于振動(dòng)薄膜的上、下兩側(cè),所述敏感材料層設(shè)置在所述基座下表面,所述下電極設(shè)置在所述敏感材料層的下表面,所述下電極設(shè)置有貫穿其厚度的通孔,所述振動(dòng)薄膜同時(shí)作為上電極。本發(fā)明生化傳感器可避免液體環(huán)境中流體阻尼對(duì)振動(dòng)薄膜品質(zhì)因子的影響,因而能實(shí)現(xiàn)高靈敏度生化物質(zhì)測(cè)量。
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“基于CMUT的海洋生化物質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器及其制備與測(cè)量方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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