一種基于多場耦合的鐵電材料減薄加工方法,鐵電材料表面減薄加工時施加反向電場,反向熱場和化學(xué)場多場耦合作用,所述方法包括以下步驟:(1)表面加工鐵電材料,砂輪以ns的轉(zhuǎn)速,f的進(jìn)給速度對鐵電材料進(jìn)行加工,鐵電材料的轉(zhuǎn)速是nw;(2)加工時施加反向電場,反向熱場和化學(xué)場,電場,熱場和化學(xué)場交互作用。本發(fā)明提供一種提高加工效率的基于多場耦合的鐵電材料減薄加工方法。
聲明:
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