本發(fā)明提供一種耐久性優(yōu)異的碳化硅-碳化鉭
復合材料。碳化硅-碳化鉭復合材料(1)具備:表層的至少一部分由第一碳化硅層(12)構成的主體(10)、碳化鉭層(20)和第二碳化硅層(13)。碳化鉭層(20)配置于第一碳化硅層(12)之上。第二碳化硅層(13)配置于碳化鉭層(20)和第一碳化硅層(12)之間。第二碳化硅層(13)通過X射線光電子分光法測得的C/Si組成比為1.2以上。第二碳化硅層(13)通過拉曼分光法測得的碳的G帶和D帶的峰強度比G/D為1.0以上。
聲明:
“碳化硅-碳化鉭復合材料和基座” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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