本發(fā)明提供了碳化硅器件高溫快速熱處理裝置,包含至少一個(gè)反應(yīng)腔室,反應(yīng)腔室內(nèi)包含上下兩個(gè)面對(duì)面設(shè)置的加熱器,上加熱器也被用作具有通氣孔的氣體分布器,晶圓放置在下加熱器的頂端,加熱器由包覆著碳化硅或碳化鉭或者兩者混合表層的石墨和或碳
復(fù)合材料制造。本發(fā)明提高了碳化硅工藝的溫度,滿(mǎn)足了現(xiàn)代碳化硅加工工藝的溫度要求。
聲明:
“碳化硅器件高溫快速熱處理工藝及其裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)