本發(fā)明公開了一種結(jié)構(gòu)功能一體化柔性壓力傳感器及其制作方法,包括柔性基底,柔性基底內(nèi)設(shè)有空間互聯(lián)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò);液態(tài)金屬或液態(tài)金屬
復(fù)合材料,填充在空間互聯(lián)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)中;兩個(gè)電極,嵌入柔性基底并分別連接空間互聯(lián)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的上層和下層。制備方法如下:根據(jù)壓力范圍設(shè)計(jì)柔性壓力傳感器結(jié)構(gòu)并建模;根據(jù)建模利用3D打印來加工制造柔性基底;將柔性基底浸入裝有液態(tài)金屬的容器中;將容器放入真空干燥箱中,抽真空至?0.1MPa并保持10min?20min;打開真空箱閥門使真空箱內(nèi)部與大氣壓連通,并保持10min?20min;待液態(tài)金屬填充滿空間互聯(lián)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)后,將電極引線插入柔性基底的上下電極入口處并固化密封。本發(fā)明具有靈敏度高、工藝適用范圍廣,加工方便的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“結(jié)構(gòu)功能一體化柔性壓力傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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