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      基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法

      949   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
      2023-03-18 17:45:52
      本發(fā)明公開了一種基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法,該氣體傳感器包括:陶瓷基底以及印刷于陶瓷基底上的電感線圈與復合氣敏電阻,電感線圈的外端經(jīng)陶瓷基底通孔內(nèi)填充的銀漿與復合氣敏電阻一端的連接,內(nèi)端與復合氣敏電阻的另一端相連,構成LR敏感回路;陶瓷基底以氧化鋁生瓷帶為材料,采用HTCC工藝制備,電感線圈以Ag為漿料,采用絲網(wǎng)印刷工藝制備,復合氣敏電阻采用Pt?WO3復合材料,由磁控濺射工藝制備。本發(fā)明的氣體傳感器利用無線非接觸的測量方法,通過分析隨電阻變化的Q值,即可準確實現(xiàn)低溫條件下待測氣體H2的檢測,采用成熟的絲網(wǎng)印刷和磁控濺射制備工藝,具有加工簡便,成本低廉等優(yōu)點。
      聲明:
      “基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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