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      ScB2-B超硬復(fù)合薄膜及其制備方法

      952   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-18 17:54:19
      本發(fā)明提供了一種ScB2?B超硬復(fù)合薄膜及其制備方法。所述的ScB2?B超硬復(fù)合材料,其特征在于,其化學(xué)式為(1?x)ScB2?xB,其中0<x≤0.6。所述ScB2?B復(fù)合薄膜的制備方法,包括以下步驟:清除襯底表面雜質(zhì),腔體預(yù)加熱,襯底表面清洗刻蝕,采用用Sc、B兩靶磁控共濺射制備得到ScB2?B復(fù)合薄膜,通過控制兩個靶位電源功率和濺射時的腔體壓強(qiáng)等來實現(xiàn)組分的調(diào)節(jié),可以獲得不同物理屬性(模量、硬度、熱膨脹系數(shù)等)的組成,滿足不同的使用需求和使用場景。本發(fā)明所提供的硼化鈧硬度高,適用于機(jī)械加工、油井鉆探和航天航空等許多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
      聲明:
      “ScB2-B超硬復(fù)合薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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