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      基于磁電效應的聲表面波磁傳感器

      1100   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
      2023-03-18 18:01:57
      本實用新型聲表面波磁傳感器利用磁電復合材料的諧振頻率隨磁場而變化的或特性測量磁場,其所述壓電薄膜遠離叉指電極的方向還設置有磁致伸縮薄膜、鐵磁或反鐵磁層和襯底基片,所述鐵磁或反鐵磁層位于所述磁致伸縮薄膜和襯底基片之間形成一堆棧結(jié)構(gòu)。本實用新型的磁傳感器具有高靈敏度、高分辨率、易于微型化、與MEMS和CMOS等工藝相兼容、功耗和成本低、驅(qū)動電路簡單等優(yōu)點,可辨別外磁場的方向,而且直接輸出數(shù)字信號,可與現(xiàn)代數(shù)字系統(tǒng)直接通訊,無須連接模/數(shù)轉(zhuǎn)換器。
      聲明:
      “基于磁電效應的聲表面波磁傳感器” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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