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      磁控濺射制備鋰電池電極材料FeSe2薄膜的方法
      
					
      
					     833  
					    編輯：管理員  
						來源：中冶有色技術網(wǎng)  
						
      
							2023-03-18 22:09:42						
      
					
      
				
      
				
      
				    一種磁控濺射制備鋰電池電極材料FeSe2薄膜的方法，其步驟是 : a、濺射準備：選取硅基片作為襯底、FeSe靶材作為濺射靶材，安裝于磁控濺射室內(nèi)，調(diào)整濺射靶材到襯底的距離為5-7cm；b、濺射沉積：將真空室抽真空至氣壓小于2×10-4Pa，再通入氬氣，調(diào)節(jié)濺射氣壓、濺射功率、襯底溫度，經(jīng)過一定時間的濺射在硅基片上沉積薄膜；c、后退火處理：將沉積薄膜的硅基片和硒粒球一起封入氣壓小于1×10-2Pa的真空石英管中，然后將石英管置于管式爐中，在氬氣保護下進行后退火處理，即得FeSe2薄膜。該方法可制備大面積的性能良好的FeSe2薄膜，制備過程簡單，能耗小，成本低，效率高，可重復性好，適合于工業(yè)化生產(chǎn)。				    
      
				        
      聲明：
      
				        
      
				         “磁控濺射制備鋰電池電極材料FeSe2薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
				        
      
				        
      
				        我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
				        
      
				    
      
				
      
				
				
      
					
      
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      標簽：
      
					 
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