本發(fā)明公開了一種復(fù)合吸收層熱釋電紅外探測(cè)器,屬于熱釋電探測(cè)器技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明熱釋電紅外探測(cè)器中吸收層由頂層至底層依次包括:
鈦金屬層(1)、介質(zhì)層(2)、鎳鉻合金層(3)、鉭酸鋰晶體層(4)和反射層(5);所述鎳鉻合金層(3)沉積在鉭酸鋰晶體層(4)的頂面,所述反射層(5)沉積在鉭酸鋰晶體層(4)的底面,所述鈦金屬層(1)沉積在介質(zhì)層(2)的頂面。本發(fā)明制備出的熱釋電紅外探測(cè)器的復(fù)合吸收層與單一金屬吸收層薄膜作熱敏感層相比,本發(fā)明具有更好的表面致密性、高的吸收系數(shù)和較小的熱損失,能夠獲取高性能熱響應(yīng),利于制備出高精度熱釋電紅外探測(cè)器。
聲明:
“復(fù)合吸收層熱釋電紅外探測(cè)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)