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      基于數(shù)字光的超聲輔助微結(jié)構(gòu)選區(qū)成形制造裝置及方法

      891   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 00:06:25
      本發(fā)明公開了一種基于數(shù)字光的超聲輔助微結(jié)構(gòu)選區(qū)成形制造裝置及方法。雙面拋光鈮酸鋰晶片布置在光學支架的透光孔上,至少一對叉指換能器正交排布在晶片四周,PDMS氮氣保護殼置于換能器上方,透光孔正下方依次設(shè)有匯聚透鏡和數(shù)字式微棱鏡芯片,紫外光源和準直透鏡依次傾斜安裝在光學支架的側(cè)面。晶片上涂覆光敏液體,啟動叉指換能器使聲表面駐波場耦合入光敏液體內(nèi)形成微結(jié)構(gòu)陣列;放置氮氣保護殼,輸入DMD掩膜版,紫外光經(jīng)準直透鏡后照射在數(shù)字式微棱鏡芯片進行選擇反射,然后依次穿過匯聚透鏡、晶片射入光敏液體內(nèi),曝光區(qū)域的光敏液體固化,得到指定形狀的微結(jié)構(gòu)陣列薄膜。本發(fā)明實現(xiàn)了紫外光的數(shù)字選擇,成形區(qū)域控制精度高,響應(yīng)速度快。
      聲明:
      “基于數(shù)字光的超聲輔助微結(jié)構(gòu)選區(qū)成形制造裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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