本發(fā)明公開了一種聲表面波器件,包括依次疊置的壓電薄膜層和襯底層,以及包括設(shè)在壓電薄膜層的遠(yuǎn)離襯底層一側(cè)的叉指換能器,壓電薄膜層為鈮酸鋰薄膜;壓電薄膜層利用水平剪切型聲表面波,壓電薄膜層的歐拉角為(0°,90±10°,90±10°);或者,壓電薄膜層利用高階瑞利型聲表面波,壓電薄膜層的歐拉角為(50±5°,20±5°,0°)。本發(fā)明公開的聲表面波器件能夠激發(fā)兼具高聲速、高機(jī)電耦合系數(shù)和導(dǎo)納/阻抗比的聲表面波,提高了聲表面波器件的工作頻率、帶寬和品質(zhì)因數(shù),滿足5G通信高頻、大帶寬的應(yīng)用需求。
聲明:
“聲表面波器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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