本實用新型涉及
鋰電池技術領域,尤其涉及一種磁控濺射裝置和制備電極的設備。本實用新型的多元磁控濺射裝置和制備電極的設備,可以同時進行多種靶材的濺射鍍膜,而且可以根據(jù)設定各個靶材的濺射速度來得到不同原子比例組分的薄膜,當需要濺射獲得不同成分的薄膜時,直接替換靶材即可,使用簡單、方便,生產效率高,符合大規(guī)模生產的需求。
聲明:
“多元磁控濺射裝置和制備電極的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)