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      檢測(cè)化學(xué)氣相沉積薄膜小微粒的方法

      1058   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 06:42:49
      本發(fā)明公開(kāi)了一種檢測(cè)化學(xué)氣相淀積薄膜小微粒的方法,至少包含以下步驟:步驟1、準(zhǔn)備晶圓基材;步驟2、在晶圓基材上沉積金屬;步驟3、在沉積金屬上沉積化學(xué)氣相淀積薄膜;步驟4、開(kāi)始刻蝕過(guò)程;步驟5、利用表面掃描工具掃描化學(xué)氣相淀積薄膜的缺陷。本發(fā)明能夠檢測(cè)到PECVD薄膜的小微粒,降低廢料風(fēng)險(xiǎn)。
      聲明:
      “檢測(cè)化學(xué)氣相沉積薄膜小微粒的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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