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      用于化學(xué)檢測和(生物)分子診斷的表面聲波RFID傳感器

      1108   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 06:44:48
      本發(fā)明描述了基于表面聲波(SAW)換能器和二維電子氣(2DEG)或二維空穴氣(2DHG)導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的組合的射頻識別(RFID)傳感器的實施方案,及其在化學(xué)檢測和(生物)分子診斷中的用途。SAW?RFID傳感器芯片包含在其上沉積多層異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的壓電襯底。所述異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)包括至少兩層即緩沖層和阻擋層,其中兩層均由III?V單晶或多晶半導(dǎo)體材料諸如Ga?N/Al?Ga?N生長。轉(zhuǎn)換SAW的叉指換能器(IDT)安裝在所述阻擋層的頂部。2DEG或2DHG導(dǎo)電溝道形成在所述緩沖層和所述阻擋層之間的界面處,并且在連接到所形成的溝道的非歐姆(電容耦合)源極和漏極接觸之間的系統(tǒng)中提供電子或空穴電流。
      聲明:
      “用于化學(xué)檢測和(生物)分子診斷的表面聲波RFID傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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