久久看看永久视频,日日狠狠久久偷偷色,亚洲中文字幕在线网,午夜福利院中文字幕

    • <dfn id="vuqxj"><td id="vuqxj"></td></dfn>
  • <dfn id="vuqxj"></dfn>

    

      3. 

      4. <div id="vuqxj"><option id="vuqxj"><b id="vuqxj"></b></option></div>
      7. 
	









	
      
		
      合肥金星智控科技股份有限公司
      宣傳
      	
      
	
      		
		
      
			
      位置：中冶有色 > 
      
			
      有色技術頻道 > 
      
						
			
			
       > 化學分析技術
      
			
       > 化學機械拋光的在線監(jiān)測裝置
      
		
      
	
      

	
      
		
      
			
      
				
      
					
      化學機械拋光的在線監(jiān)測裝置
      
					
      
					     921  
					    編輯：管理員  
						來源：中冶有色技術網  
						
      
							2023-03-19 06:49:13						
      
					
      
				
      
				
      
				    本發(fā)明公開了一種化學機械拋光的在線監(jiān)測裝置，設于拋光盤內，可隨拋光盤轉動；其包括光源；光學鏡組，用于接收光源發(fā)出的光束，產生準直光束；光路轉折單元，用于接收準直光束，將其形成入射光路，入射光路透過拋光盤的通光窗口，照射至拋光盤上的晶圓表面，晶圓表面將入射光路反射后經過光路轉折單元形成出射光路；探測器，用于接收出射光路，以獲取對應的光譜信息，確定晶圓拋光的終點。本發(fā)明采用光學鏡組縮束準直的方式耦合光源，解決了傳統光纖耦合導致的光源光強利用率低的問題；采用信號控制方式調節(jié)光源并實時監(jiān)測光強，保證測量信號的穩(wěn)定性，提升探測精度，延長光源的使用壽命。				    
      
				        
      聲明：
      
				        
      
				         “化學機械拋光的在線監(jiān)測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
				        
      
				        
      
				        我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
				        
      
				    
      
				
      
				
				
      
					
      
						 分享 0
						
      
							
							    
							
							    
							
						
      
					
      
					
      
						舉報 0
					
      

					
      
						收藏 0
					
      

					
      
						反對 0
					
      
					
      
						點贊 0
					
      
				
      
				
      
					
      標簽：
      
					 
					化學分析
									
      
				
				
				
				
								
								
				
				
      全國熱門有色金屬技術推薦
      
    			
      
    				    				江蘇礦山技術
    				    				徐州礦山技術
    				    				江蘇選礦技術
    				    				江蘇通用技術
    				    				徐州通用技術
    				    				北京礦山技術
    				    				北京采礦技術
    				    				北京通用技術
    				    				福建礦山技術
    				    				福建通用技術
    				    				江蘇冶金技術
    				    				江蘇火法冶金技術
    				    				北京冶金技術
    				    				北京火法冶金技術
    				    				北京濕法冶金技術
    				    				福建冶金技術
    				    				江蘇材料制備及加工技術
    				    				常州材料制備及加工技術
    				    				江蘇新能源材料技術
    				    				江蘇加工技術
    				    				北京材料制備及加工技術
    				    				福建材料制備及加工技術
    				    				江蘇環(huán)境保護技術
    				    				南京環(huán)境保護技術
    				    				蘇州環(huán)境保護技術
    				    				南通環(huán)境保護技術
    				    				江蘇廢水處理技術
    				    				江蘇固/危廢處置技術
    				    				北京環(huán)境保護技術
    				    				北京廢水處理技術
    				    				第十七屆東亞資源再生技術國際會議
    				    				中冶有色技術平臺
    				    				有色金屬技術網
    				    				中冶有色技術網
    				    			
      
    			
      
    				展開更多 +
    			
      
    			
       
      
			
      
			
      
				
      
					
      
						中冶有色技術平臺微信公眾號
					
      
					
      
						
      了解更多信息請您掃碼關注官方微信
      
						
      中冶有色技術平臺微信公眾號中冶有色技術平臺
      
					
      
				
      
				
      最新更新技術
      
				
				
				
				
      報名參會
    				
      更多+
      
    			
      
    			
    			
    			
    			
    			
      報告下載
      
    			
				
      第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
      推廣
      				
      熱門技術
					
      
						更多+
					
      
				
      
				
				
      衡水宏運壓濾機有限公司
      宣傳
      				
				
				
			
      
			
      
		
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      環(huán)磨科技控股（集團）有限公司
      宣傳
      	
      

	




      
	
      
		
      
		發(fā)布
	
      
	
      
		
      
		在線客服
	
      
	
      
		
      
		公眾號
	
      
	
      
		
      
		電話
	
      
	
      
		
      
		頂部
	
      

	

      

      
	

      


      
	

      


      
咨詢電話：
      
	010-88793500-807
      
	


















	
	
	
      
		
      專利人/作者信息登記