本實用新型提供一種用于化學電鍍機臺的化學溶劑泄漏報警系統(tǒng),包括裝設(shè)于各制程室底盤的內(nèi)底面,用于在探測到微量化學溶劑泄漏時發(fā)送第一信號的多個第一探測器;裝設(shè)于與各制程室底盤具有預設(shè)高度的位置,用于在探測到大量化學溶劑泄漏時發(fā)送第二信號的多個第二探測器;用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應的泄漏點并進行報警的控制面板;以及用于在接收到第二信號時對所述化學電鍍機臺進行緊急停機操作的緊急開關(guān)裝置。本實用新型在檢測到微量化學泄漏時可以指示出泄露點并進行報警,檢測到大量的化學泄露時進行停機操作,可以大大地降低由于不必要的停機而導致晶圓出現(xiàn)產(chǎn)品缺失以及良率下降,有利于提高生產(chǎn)效率并降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“用于化學電鍍機臺的化學溶劑泄漏報警系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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