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      化學氣相沉積監(jiān)控系統(tǒng)及方法

      797   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
      2023-03-19 06:57:23
      本發(fā)明屬于薄膜生長監(jiān)測技術領域,公開了一種化學氣相沉積監(jiān)控系統(tǒng)及方法,薄膜材料放置于化學氣相沉積裝置內;光學成像檢測裝置包括飛秒脈沖激光器、第一柱面透鏡、第一虛擬成像相位陣列、第一衍射光柵、第一顯微物鏡、第二顯微物鏡、第二衍射光柵、第二虛擬成像相位陣列、第二柱面透鏡、單模光纖、光電探測器、高速示波器。本發(fā)明通過光學成像檢測裝置實時監(jiān)測薄膜材料的生長過程,快速、實時獲得薄膜材料生長過程信息,通過與樣品數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)進行對比,實時調整生長工藝參數(shù)以提高薄膜的生長質量。解決了現(xiàn)有技術中化學氣相沉積設備不能做到快速、實時監(jiān)控薄膜生長狀態(tài)的問題,達到了能夠快速、實時獲得薄膜材料的生長信息的技術效果。
      聲明:
      “化學氣相沉積監(jiān)控系統(tǒng)及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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