一種通用化學(xué)機(jī)械拋光液,屬于超硬材料超精密加工領(lǐng)域,其成分包含氧化鋯磨料、硅酸鈉分析純?cè)噭?、去離子水。室溫下,將磨料氧化鋯、硅酸鈉、分別加入去離子水中,超聲設(shè)備中震蕩5分鐘得到化學(xué)機(jī)械拋光液。所述拋光液中,氧化鋯濃度為0.05~0.09g/ml,粒徑為0.05~0.2μm,所述的硅酸鈉濃度為0.05~0.12g/ml。該化學(xué)機(jī)械拋光液具有通用性,能夠用于拋光藍(lán)寶石晶體,石英、金剛石、硅片、鎢合金材料。相較于傳統(tǒng)拋光液,晶體表面粗糙度降低,無損傷缺陷。且該新型拋光液的成本低廉,無需特殊工藝合成,并且所有組分均不會(huì)造成環(huán)境污染。
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