本發(fā)明涉及一種基于沸石膜光纖諧振腔的生物化學(xué)傳感器,屬于微傳感器領(lǐng)域。本發(fā)明包括承載基片、沸石薄膜、微光纖;承載基片上加工有環(huán)形槽和一個通槽;一根微光纖同時穿過環(huán)形槽與通槽,且環(huán)形槽與通槽相切處的微光纖相交,微光纖兩端與通槽固定;本發(fā)明的制作方法,首先在承載基片上加工有環(huán)形槽和通槽;將單模光纖去除涂覆層,并將裸露部分拉長,在裸露部分涂鍍沸石膜;將該微光纖同時穿過環(huán)形槽與通槽,且環(huán)形槽與通槽相切處的微光纖相交,然后在光譜測試系統(tǒng)下,調(diào)整耦合接觸長度,使其達到最佳耦合狀態(tài),微光纖兩端與通槽固定。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單,可操作性強,具有高穩(wěn)定性與高可靠性,適用于各種氣體液體分子的檢測。
聲明:
“基于沸石膜光纖諧振腔的生物化學(xué)傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)