本發(fā)明屬于微機電系統(tǒng)領(lǐng)域,涉及一種一體化微懸臂梁檢測
芯片,包括有基底,基底的上端向內(nèi)開有檢測池底槽,基底上設(shè)有基于惠斯通電橋的檢測信號提取電路,基底的上端制備有封頂,封頂將基底、基于惠斯通電橋的檢測信號提取電路全覆蓋,基于惠斯通電橋的檢測信號提取電路的微懸臂梁參比傳感器和微懸臂梁檢測傳感器位于封頂和基底的檢測池底槽形成的檢測池內(nèi),基底和封頂?shù)膬蓚?cè)分別組合成為進液口和出液口。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)MEMS技術(shù)在整合電學(xué)、機械、生物和化學(xué)等多種類、多功能器件,低成本制備精密
檢測儀器時遇到的難題。
聲明:
“一體化微懸臂梁檢測芯片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)