一種TSV電鍍銅填充效果的測(cè)試方法屬于材料制備與連接領(lǐng)域。包括步驟1:將化學(xué)機(jī)械拋光后的TSV晶圓樣品切割取樣,并將取自晶圓上不同區(qū)域的TSV樣品置于坩堝中;步驟2:隨后將坩堝放入管式爐中,并在管式爐中通入氬氣作為保護(hù)氣體;以10℃/min的升溫速度將管式爐中的溫度升至后保溫;保溫過(guò)程完成后,關(guān)閉管式爐加熱裝置,保持樣品仍然在氬氣保護(hù)下放置于管式爐的石英管中。打開(kāi)管式爐保溫爐蓋,將石英管以及其中的TSV樣品進(jìn)行空氣冷卻。步驟3:當(dāng)管式爐中的溫度降低至室溫后,解除石英管的密封狀態(tài),將石英管中的樣品取出,在金相顯微鏡下觀察。本發(fā)明分析周期短,有效方便、費(fèi)用低,可以節(jié)約時(shí)間和成本。
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