本實(shí)用新型提供一種外加式流量量測(cè)裝置、混合設(shè)備及清洗機(jī),所述外加式流量量測(cè)裝置包括量測(cè)桶,以及第一閥組和第二三通分流閥;所述混合設(shè)備包括一個(gè)混液槽、至少兩個(gè)輸送泵,以及與輸送泵的入口、出口連通的上述外加式流量量測(cè)裝置。還提供一種清洗機(jī),包括至少一個(gè)主機(jī)臺(tái),以及上述的混合設(shè)備,所述混合設(shè)備將混合液輸送至主機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)腔室內(nèi)。通過設(shè)置多組三通閥和開關(guān)閥將輸送泵中的出液量導(dǎo)入量測(cè)桶中,能夠避免化學(xué)品輸送拆管量測(cè)接觸到化學(xué)品,提高人員安全、降低成本和提高品質(zhì)良率;因增加水路在輸送泵前,在更換輸送泵時(shí)可以對(duì)輸送泵進(jìn)行清洗,提高更換人員安全。
聲明:
“外加式流量量測(cè)裝置、混合設(shè)備及清洗機(jī)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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