本發(fā)明提供一種基于溫度調(diào)節(jié)性能的
石墨烯仿生光探測器及其制備方法,所述制備方法包括:1)提供石墨烯及微加熱器平臺,并將所述石墨烯轉(zhuǎn)移至所述微加熱器平臺上;2)將步驟1)所得到的結(jié)構(gòu)置于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)爐中退火;3)于退火后的所述石墨烯表面通過試劑進(jìn)行修飾,形成具有活性基團(tuán)的活性薄膜;4)于所述活性薄膜表面形成光受體蛋白。本發(fā)明通過采用懸膜式的加熱結(jié)構(gòu)連接石墨烯,并在石墨烯表面修飾光受體蛋白,一方面采用光受體蛋白實(shí)現(xiàn)波長選擇性,提高光吸收率;另一方面采用懸膜式加熱結(jié)構(gòu),減少襯底對石墨烯性能的影響,更可以通過加熱電壓來調(diào)節(jié)工作溫度,從而調(diào)節(jié)光生載流子遷移率和濃度,以提高光探測器件的性能。
聲明:
“基于溫度調(diào)節(jié)性能的石墨烯仿生光探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)