本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造行業(yè)的失效分析領(lǐng)域,尤其涉及一種應(yīng)用于光發(fā)射顯微鏡的固定裝置,包括底座和位于該底座上的若干條擋塊,且該底座與所述若干條擋塊共同構(gòu)成承載主體;所述若干條擋塊之間形成了多個樣品槽,且每相鄰的兩條擋塊之間分別設(shè)置有一條滑塊。該結(jié)構(gòu)使得本發(fā)明的
芯片測試結(jié)構(gòu)不會被膠帶遮擋而影響到探針扎針,芯片表面也不會受到污染;同時,芯片背面與固定裝置底座充分接觸,不會因傾斜而影響光發(fā)射顯微鏡的鏡頭聚焦;再次,當(dāng)探針進行扎針時,針尖與芯片不會發(fā)生相對滑動,而且整個操作過程不涉及化學(xué)物品,安全無害。從而可以幫助分析人員快速、高效、安全地進行缺陷定位分析工作,提高了失效定位率和成功率。
聲明:
“微小尺寸芯片固定裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)