本發(fā)明涉及一種延長C向藍(lán)寶石襯底拋光液使用壽命的方法,該方法的具體過程是:1)在C向藍(lán)寶石進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光過程中,取C向藍(lán)寶石襯底拋光液,用Zeta電位分析儀測量電位,監(jiān)測C向藍(lán)寶石襯底拋光液的Zeta電位變化情況;2)當(dāng)監(jiān)測到C向藍(lán)寶石襯底拋光液的Zeta電位絕對值不大于20mv時(shí),直接向正在使用的C向藍(lán)寶石襯底拋光液中添加非離子表面活性劑,當(dāng)添加至C向藍(lán)寶石襯底拋光液Zeta電位絕對值不小于30.0mv時(shí)停止添加,然后每隔0.5?1.5小時(shí)再次監(jiān)測Zeta電位,重復(fù)上述過程;所述非離子表面活性劑為十二烷基硫酸鈉、異構(gòu)十醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的一種或幾種混合物。該方法顯著延長了拋光液使用壽命至12小時(shí)以上,降低拋光液使用成本達(dá)30%以上。
聲明:
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