本發(fā)明公開了一種形成化學傳感器的方法、一種化學傳感器和一種檢測目標物質的方法。使用在基底上可以處于薄膜層形式的催化劑合成納米結構。前體化合物是為低沸點而選擇的或已經(jīng)以氣體形式存在。納米結構能夠用掩蔽的基底合成,以產(chǎn)生圖案化的納米結構生長。該技術還包括形成具有<10nm的尺寸并且具有窄粒徑分布的金屬納米粒子。已經(jīng)顯示金屬納米粒子具有增強的催化性質。該方法可以包括等離子體增強化學氣相沉積,以將Ni、Pt和/或Au納米粒子沉積到SiO2、SiC和GaN納米線的表面上??梢允褂媒饘偌{米粒子在約5-7分鐘內(nèi)涂覆納米結構樣品。納米粒子的尺寸可以通過在所述方法中適當?shù)乜刂茰囟群蛪毫砜刂?。涂覆的納米線具有作為氣體和水性傳感器和儲氫的應用。
聲明:
“用于納米結構的組分的制備和涂覆的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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