本發(fā)明公開一種光纖氣體壓力傳感器,該傳感器通過放電熔接方法,可以在兩根單模光纖的熔接界面處形成一個球形的空腔。然后,通過飛秒激光器在單模光纖包層側(cè)面上燒灼加工長為24μm的微通道,微通道直接與球形空腔相連,微通道在光纖側(cè)面開口處與玻璃毛細(xì)管相連,方便與外界待測氣體接觸。該氣體壓力傳感器的靈敏度約為193.46pm/bar。根據(jù)本發(fā)明的方法制備光纖氣體壓力傳感器,制造工藝簡單,制作成本低,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,具有一定的機械強度,而且不會對周圍電磁環(huán)境產(chǎn)生影響,不會產(chǎn)生電火花,能廣泛用于精密化學(xué)實驗室氣壓檢測、石油氣罐氣壓檢測、各種高壓氣瓶的壓力監(jiān)測,航天航空器內(nèi)氣壓檢測等特殊領(lǐng)域。
聲明:
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