本發(fā)明屬于擋控片管理技術(shù)領(lǐng)域,具體的說是
半導(dǎo)體工廠控擋片管理方法,所述控擋片的管理方法步驟如下所示:S1:全新晶圓擋控片的檢測:通過檢測裝置檢測由全新晶圓生產(chǎn)的擋控片是否合格,如果合格將該擋控片存放至備用庫中,如果不合格將該擋控片存放至廢料庫中;本發(fā)明通過對回收的擋控片進行化學(xué)腐蝕、研磨拋光和清洗等一系列的處理使得擋控片重新具備測試和穩(wěn)定機臺穩(wěn)定性的功能,極大地減小了擋控片的損耗,避免了每次都使用全新的擋控片,降低了擋控片的使用成本,且根據(jù)對不同品質(zhì)的擋控片進行等級劃分,使得不同品質(zhì)的擋控片可以應(yīng)用在不同的制程上,使得擋控片的品質(zhì)影響可以降到最低,進而使得擋控片可以循環(huán)利用更多次。
聲明:
“半導(dǎo)體工廠控擋片管理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)