一種銅蝕刻液預(yù)處理系統(tǒng),包括依次連通且相鄰設(shè)置的反應(yīng)池、壓濾機(jī)及濾芯過濾設(shè)備,反應(yīng)池用于銅蝕刻液與藥劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng),壓濾機(jī)用于將反應(yīng)池中銅蝕刻液與藥劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)后的溶液過濾以得到濾液,濾芯過濾設(shè)備用于將壓濾機(jī)中的濾液再次過濾以得到預(yù)處理后的銅蝕刻液,濾芯過濾設(shè)備包括殼體、收容于殼體內(nèi)的濾芯及出液管道,殼體設(shè)有進(jìn)液口和出液口,進(jìn)液口用于壓濾機(jī)中的濾液進(jìn)入殼體,出液管道安裝于出液口,出液管道的管壁靠近出液口的位置設(shè)有取樣口。如此先后通過壓濾機(jī)和濾芯過濾設(shè)備兩次過濾,避免了采用壓濾機(jī)一次過濾導(dǎo)致銅蝕刻液工作液不純的問題,且取樣口便于隨時(shí)檢查銅蝕刻液是否符合標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)而提高了銅蝕刻液的純度。
聲明:
“銅蝕刻液預(yù)處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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