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      無損、快速TSV結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌測量方法

      900   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 08:57:59
      本發(fā)明公開了一種無損、快速的TSV結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌測量方法,包括如下步驟:利用高分辨率IR顯微鏡,調(diào)節(jié)聚焦深度,選取多個(gè)焦平面;選定其中一焦平面,并針對(duì)該焦平面所獲得的圖像,獲得圓心的位置;計(jì)算邊緣輪廓到圓心的距離,獲得該焦平面圖像的邊緣到圓心的距離分布;改變焦平面位置,重復(fù)步驟三,計(jì)算出每一個(gè)焦平面圖像的邊緣到圓心的距離分布,獲得在同一個(gè)旋轉(zhuǎn)角度下,邊緣在深度方向到圓心的距離分布;結(jié)合步驟五所得的計(jì)算結(jié)果,得到TSV結(jié)構(gòu)側(cè)壁的三維形貌分布;通過統(tǒng)計(jì)計(jì)算,獲得TSV結(jié)構(gòu)側(cè)壁的形貌測量。
      聲明:
      “無損、快速TSV結(jié)構(gòu)側(cè)壁形貌測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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