本發(fā)明涉及一種Si基緩沖層鍍膜玻璃的光學參數(shù)檢測方法,該緩沖層鍍膜為SiCxOy,0<x<1,1<y<4,屬于鍍膜玻璃檢測領(lǐng)域。該方法是在獲得SiCxOy緩沖層鍍膜玻璃橢圓偏振光譜的基礎(chǔ)之上,引入三層膜層結(jié)構(gòu)以及光學色散方程,通過迭代來回歸實測橢偏光譜,最終獲得SiCxOy鍍膜玻璃的膜層結(jié)構(gòu)及其每一層的光學參數(shù),利用該方法實現(xiàn)鍍膜玻璃光學性能的在線監(jiān)控。本發(fā)明僅采用橢偏光學測試手段便可準確地獲得薄膜的膜層結(jié)構(gòu)及光學參數(shù),對樣品無損傷、測量耗時少、測試方法簡便、對被測樣品表面無特殊要求,十分適合于SiCxOy節(jié)能鍍膜玻璃的性能檢測及監(jiān)控。
聲明:
“Si基緩沖層鍍膜玻璃的光學參數(shù)檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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