本申請(qǐng)?zhí)峁╇娺w移測(cè)試結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)、存儲(chǔ)器、制造方法及測(cè)試方法,測(cè)試結(jié)構(gòu)包括:待測(cè)件、第一測(cè)試部、第二測(cè)試部和第三測(cè)試部;其中,待測(cè)件包括第一端和第二端,第一端與第一測(cè)試部電連接,第二端與第二測(cè)試部電連接;第三測(cè)試部與待測(cè)件電連接,且第三測(cè)試部與第一端之間的距離不等于第三測(cè)試部與第二端之間的距離;其中,第一端與第三測(cè)試部之間的待測(cè)件的電阻值能夠通過(guò)第一測(cè)試部和第三測(cè)試部獲得,第二端與第三測(cè)試部之間的待測(cè)件的電阻值能夠通過(guò)第二測(cè)試部和第三測(cè)試部獲得。通過(guò)電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)的第一測(cè)試部和第三測(cè)試部,以及第二測(cè)試部和第三測(cè)試部獲得的電阻值,計(jì)算得到待測(cè)件的實(shí)際橫截面積,并計(jì)算得到待測(cè)件的實(shí)際失效時(shí)間。
聲明:
“電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)、存儲(chǔ)器、制造方法及測(cè)試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)