本發(fā)明公開了一種真空測量裝置控制系統(tǒng)及半導(dǎo)體加工裝置,真空測量裝置控制系統(tǒng)包括真空測量裝置、真空獲得裝置,真空測量裝置通過電源供電,真空測量裝置與電源之間連接有監(jiān)控復(fù)位電路;當(dāng)真空測量裝置向真空獲得裝置發(fā)出的開關(guān)信號失效時(shí),監(jiān)控復(fù)位電路對真空測量裝置進(jìn)行一次斷電、上電的復(fù)位過程,對于真空規(guī)由于環(huán)境因素波動引起的瞬間故障,能夠通過復(fù)位過程排除,避免造成分子泵的頻繁起停,增強(qiáng)了機(jī)臺的可靠性和在線故障診斷性能。
聲明:
“真空測量裝置控制系統(tǒng)及半導(dǎo)體加工裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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