一種ald鍍膜設(shè)備

技術(shù)領(lǐng)域

1.本實(shí)用新型涉及原子層沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種ald鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)：

2.原子層沉積(atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)诨妆砻娴姆椒āＴ谠訉映练e過(guò)程中，新一層原子膜的化學(xué)反應(yīng)是直接與之前一層相關(guān)聯(lián)的，這種方式使每次反應(yīng)只沉積一層原子。并且，沉積層具有極均勻的厚度和優(yōu)異的一致性。

3.一個(gè)ald鍍膜過(guò)程至少包含：(1)通入前軀體a；(2)清除鍍膜設(shè)備內(nèi)的前驅(qū)體a，使其晶圓盤(pán)表面吸附一層前驅(qū)體a；(3)通入前軀體b；(4)清除鍍膜設(shè)備內(nèi)的前驅(qū)體b，使晶圓盤(pán)表面的前驅(qū)體a和前驅(qū)體b進(jìn)行反應(yīng)，從而在晶圓盤(pán)表面鍍上一層需要的原子層。在這個(gè)過(guò)程中，鍍膜設(shè)備的腔體內(nèi)部，包括腔體側(cè)壁，以及腔體內(nèi)部的各個(gè)零部件的表面也會(huì)形成鍍層/雜質(zhì)，因此需要定期對(duì)鍍膜設(shè)備的反應(yīng)腔內(nèi)部進(jìn)行清洗。

4.但是，現(xiàn)有的鍍膜設(shè)備，結(jié)構(gòu)復(fù)雜不易進(jìn)行拆洗。

5.有鑒于此，申請(qǐng)人在研究了現(xiàn)有的技術(shù)后特提出本技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

6.本實(shí)用新型提供了一種ald鍍膜設(shè)備，旨在改善上述技術(shù)問(wèn)題。

7.為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種ald鍍膜設(shè)備，其包含：外腔組件、內(nèi)腔組件、固定組件和連接組件。

8.外腔組件包括設(shè)置有容納腔的外腔體，以及接合于外腔體的插板閥。內(nèi)腔組件包括可拆卸的配置于容納腔的內(nèi)腔體。內(nèi)腔體設(shè)置有用以進(jìn)行鍍膜反應(yīng)的反應(yīng)腔，以及連通于反應(yīng)腔用以取放待鍍膜產(chǎn)品的物料開(kāi)口。其中，插板閥用以密封物料開(kāi)口。固定組件包括設(shè)置于容納腔內(nèi)用以定位內(nèi)腔體的定位構(gòu)件，以及用以接合于內(nèi)腔體和外腔體之間的第一伸縮頂緊構(gòu)件。連接組件接合于外腔體，且構(gòu)造為：能夠通過(guò)快拆的方式接合于內(nèi)腔體。以使外部設(shè)備連通于反應(yīng)腔。

9.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，連接組件包括接合于外腔體的波紋管和接合于波紋管的連接板。連接板設(shè)置有用以通過(guò)波紋管連通到外腔體外部的外設(shè)通孔。

10.內(nèi)腔體設(shè)置有和連接板相適配的密封平面，以及位于密封平面且和外設(shè)通孔相適配的連接通孔。

11.固定組件還包括能夠接合于連接板和外腔體之間的第二伸縮頂緊構(gòu)件。第二伸縮頂緊構(gòu)件用以將連接板壓力抵接于內(nèi)腔體，從而實(shí)現(xiàn)外設(shè)通孔和連接通孔的密封連接。

12.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，外設(shè)通孔、連接通孔和波紋管一一對(duì)應(yīng)，且數(shù)量至少為兩個(gè)。至少兩個(gè)波紋管分別用以將至少兩個(gè)連接通孔密封連接至外腔體的外部。兩個(gè)連接通孔分別和兩個(gè)外設(shè)通孔相適配。

13.連接組件還包括第一進(jìn)料管和第二進(jìn)料管。第一進(jìn)料管和第二進(jìn)料管分別密封連

接于兩個(gè)外設(shè)通孔中的一個(gè)，并且穿過(guò)波紋管延伸至外腔體外面。

14.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，內(nèi)腔組件還包括設(shè)置于內(nèi)腔體的至少兩個(gè)連接件。連接件構(gòu)造為：用以接合外部的抬升設(shè)備，以從容納腔中取放內(nèi)腔組件。

15.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，密封平面設(shè)置于內(nèi)腔體的頂部。至少兩個(gè)連接件接合于內(nèi)腔體的頂部。

16.至少兩個(gè)連接件分別配置于密封平面的兩側(cè)。密封平面沿著內(nèi)腔體進(jìn)出容納腔的方向設(shè)置，以使內(nèi)腔體進(jìn)出容納腔時(shí)連接件不會(huì)和連接組件發(fā)生干涉。

17.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，內(nèi)腔體包括內(nèi)腔本體，以及可拆卸的配置于內(nèi)腔本體的內(nèi)腔頂蓋。連接通孔設(shè)置于內(nèi)腔頂蓋。

18.內(nèi)腔組件還包括設(shè)置于內(nèi)腔頂蓋朝向反應(yīng)腔一側(cè)的均流板。均流板上分布有多個(gè)通孔，用以使通入反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)物能夠均勻于反應(yīng)腔。

19.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，ald鍍膜設(shè)備還包含加熱組件。加熱組件包括配置于內(nèi)腔體的第一加熱板、配置于第一加熱板的第一加熱棒和第一熱電偶。第一加熱棒、第一熱電偶采用快接插頭電連接于外部設(shè)備。

20.加熱組件還包括配置于容納腔底部用以支撐內(nèi)腔體的隔熱板。

21.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，定位構(gòu)件包括配置于容納腔底部的多個(gè)定位塊。多個(gè)定位塊之間形成有容納內(nèi)腔體的限位空間。定位塊設(shè)置有朝向限位空間的導(dǎo)向斜面。

22.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，外腔體的底部設(shè)置有排料口。內(nèi)腔體的底部設(shè)置有和排料口相適配的排料通孔。排料通孔能夠和排料口密封連接。

23.在一個(gè)可選的實(shí)施例中，內(nèi)腔體設(shè)置有兩個(gè)物料開(kāi)口，外腔組件設(shè)置有兩個(gè)插板閥，兩個(gè)插板閥分別用以密封兩個(gè)物料開(kāi)口中的一個(gè)。兩個(gè)物料開(kāi)口分別用以放置物料和取出物料。

24.外腔體設(shè)置有進(jìn)料口和出料口，以及檢修口。進(jìn)料口和出料口分別正對(duì)著兩個(gè)物料開(kāi)口中的一個(gè)。外腔組件還包括配置于檢修口的檢修門。檢修口用以從容納腔中取放內(nèi)腔體。

25.通過(guò)采用上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型可以取得以下技術(shù)效果：

26.通過(guò)固定組件和連接組件的快拆結(jié)構(gòu)，大大簡(jiǎn)化了內(nèi)腔組件的安裝和拆除步驟，使得內(nèi)腔組件能夠更加方便的進(jìn)行拆洗。

附圖說(shuō)明

27.為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施方式的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

28.圖1是ald鍍膜設(shè)備的軸測(cè)圖(關(guān)檢修門狀態(tài))。

29.圖2是ald鍍膜設(shè)備的軸測(cè)圖(開(kāi)檢修門狀態(tài))。

30.圖3是ald鍍膜設(shè)備的爆炸圖。

31.圖4是內(nèi)腔組件、固定組件和連接組件的爆炸圖。

32.圖5是內(nèi)腔組件的爆炸圖。

33.圖中標(biāo)記：1-插板閥、2-外腔體、3-連接組件、4-第一伸縮頂緊構(gòu)件、 5-物料開(kāi)口、6-內(nèi)腔體、7-排料口、8-隔熱板、9-檢修門、10-導(dǎo)向斜面、11

??

定位塊、12-第二進(jìn)料管、13-第一進(jìn)料管、14-第二伸縮頂緊構(gòu)件、15-波紋管、16-連接板、17-密封平面、18-連接通孔、19-連接件、20-內(nèi)腔頂蓋、21

??

均流板、22-內(nèi)腔本體、23-第一熱電偶、24-第一加熱棒、25-第一加熱板、 26-排料通道。

具體實(shí)施方式

34.為使本實(shí)用新型實(shí)施方式的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施方式中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施方式是本實(shí)用新型一部分實(shí)施方式，而不是全部的實(shí)施方式?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施方式，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。因此，以下對(duì)在附圖中提供的本實(shí)用新型的實(shí)施方式的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍，而是僅僅表示本實(shí)用新型的選定實(shí)施方式?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施方式，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施方式，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

35.在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的設(shè)備或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

36.此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上，除非另有明確具體的限定。

37.在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

38.在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

39.下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述：

40.由圖1至圖5所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了ald鍍膜設(shè)備，其包含：外腔組件、內(nèi)腔組件、固定組件和連接組件3。

41.外腔組件包括設(shè)置有容納腔的外腔體2，以及接合于外腔體2的插板閥1。內(nèi)腔組件

包括可拆卸的配置于容納腔的內(nèi)腔體6。內(nèi)腔體6設(shè)置有用以進(jìn)行鍍膜反應(yīng)的反應(yīng)腔，以及連通于反應(yīng)腔用以取放待鍍膜產(chǎn)品的物料開(kāi)口5。其中，插板閥1用以密封物料開(kāi)口5。固定組件包括設(shè)置于容納腔內(nèi)用以定位內(nèi)腔體6的定位構(gòu)件，以及用以接合于內(nèi)腔體6和外腔體2之間的第一伸縮頂緊構(gòu)件4。連接組件3接合于外腔體2，且構(gòu)造為：能夠通過(guò)快拆的方式接合于內(nèi)腔體6。以使外部設(shè)備連通于反應(yīng)腔。

42.具體的，將插板閥1、連接組件3安裝在外腔體2上，將固定組件可拆卸的設(shè)置在外腔體2和內(nèi)腔體6之間，使得在拆除內(nèi)腔體6時(shí)，只需要打開(kāi)插板閥1、斷開(kāi)連接組件3的連接，然后解除固定組件的固定關(guān)系，就能夠?qū)?nèi)腔組件從容納腔中取出。通過(guò)固定組件和連接組件3的快拆結(jié)構(gòu)，大大簡(jiǎn)化了內(nèi)腔組件的安裝和拆除步驟，使得內(nèi)腔組件能夠更加方便的進(jìn)行拆洗，具有很好的實(shí)際意義。

43.如圖3至圖5所示，在上述是實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，連接組件3包括接合于外腔體2的波紋管15和接合于波紋管15的連接板16。連接板16設(shè)置有用以通過(guò)波紋管15連通到外腔體2外部的外設(shè)通孔。內(nèi)腔體6設(shè)置有和連接板16相適配的密封平面17，以及位于密封平面17且和外設(shè)通孔相適配的連接通孔18。固定組件還包括能夠接合于連接板16和外腔體2之間的第二伸縮頂緊構(gòu)件14。第二伸縮構(gòu)件用以將連接板 16壓力抵接于內(nèi)腔體6，從而實(shí)現(xiàn)外設(shè)通孔和連接通孔18的密封連接。優(yōu)選的，外設(shè)通孔、連接通孔18和波紋管15一一對(duì)應(yīng)，且數(shù)量至少為兩個(gè)。至少兩個(gè)波紋管15分別用以將至少兩個(gè)連接通孔18密封連接至外腔體2的外部。兩個(gè)連接通孔18分別和兩個(gè)外設(shè)通孔相適配。連接組件3還包括第一進(jìn)料管13和第二進(jìn)料管12。第一進(jìn)料管13和第二進(jìn)料管12分別密封連接于兩個(gè)外設(shè)通孔中的一個(gè)，并且穿過(guò)波紋管15延伸至外腔體2外面。

44.具體的，內(nèi)腔體6上設(shè)置有五個(gè)連接通孔18，連接板16上設(shè)置有五個(gè)外設(shè)通孔，波紋管15的數(shù)量為四個(gè)。內(nèi)腔體6頂部設(shè)置有五個(gè)密封圈，套在五個(gè)連接通孔18上。四個(gè)波紋管15分別連接四個(gè)外設(shè)通孔；最后一個(gè)外設(shè)通孔用來(lái)安裝熱電偶，以測(cè)量反應(yīng)腔內(nèi)的溫度。其它四個(gè)連接有波紋管15的外設(shè)通孔分別用來(lái)安裝第一進(jìn)料管13、第二進(jìn)料管12、數(shù)字壓力傳感器和真空計(jì)。

45.第一伸縮頂緊構(gòu)件4和第二伸縮頂緊構(gòu)件14的結(jié)構(gòu)形同，均包括一根中間設(shè)置有夾持位的螺柱，以及分別螺紋連接于所述螺柱兩端的兩根頂桿，通過(guò)旋轉(zhuǎn)頂桿和螺柱，使得伸縮頂緊構(gòu)件伸長(zhǎng)，從而將連接板16頂接在內(nèi)腔體 6上，以及將內(nèi)腔體6頂接在容納腔內(nèi)。

46.在拆卸連接組件3時(shí)，只需要將第二伸縮頂緊構(gòu)件14縮短，并取下，就能夠使連接板16和內(nèi)腔體6分離。在拆卸內(nèi)腔體6時(shí)，只需要將第一伸縮頂緊構(gòu)件4和第二伸縮頂緊構(gòu)件14都縮短并取下，就能夠讓內(nèi)腔體6和外腔體 2分離。

47.如圖3至圖5所示，在上述是實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，內(nèi)腔組件還包括設(shè)置于內(nèi)腔體6的至少兩個(gè)連接件19。連接件19 構(gòu)造為：用以接合外部的抬升設(shè)備，以從容納腔中取放內(nèi)腔組件。優(yōu)選的，密封平面17設(shè)置于內(nèi)腔體6的頂部。至少兩個(gè)連接件19接合于內(nèi)腔體6的頂部。至少兩個(gè)連接件19分別配置于密封平面17的兩側(cè)。密封平面17沿著內(nèi)腔體6進(jìn)出容納腔的方向設(shè)置，以使內(nèi)腔體6進(jìn)出容納腔時(shí)連接件19不會(huì)和連接組件3發(fā)生干涉。可選的，內(nèi)腔體6包括內(nèi)腔本體22，以及可拆卸的配置于內(nèi)腔本體22的內(nèi)腔頂蓋20。連接通孔18設(shè)置于內(nèi)腔頂蓋20。內(nèi)腔組件還包括設(shè)置于內(nèi)腔頂蓋20朝向反應(yīng)腔一側(cè)的均流板21。均流板21上分布有多個(gè)通孔，用以使通入反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)物能夠均勻于反應(yīng)

腔。

48.具體的，在本實(shí)施例中，內(nèi)腔體6分為可拆卸連接的內(nèi)腔本體22和內(nèi)腔頂蓋20，以方便內(nèi)腔體6的清洗作業(yè)。其中，連接件19的數(shù)量為四個(gè)，形狀為環(huán)狀，用于叉車伸入進(jìn)行升降移動(dòng)作業(yè)。密封面設(shè)置在內(nèi)腔頂蓋20的中間位置，沿著內(nèi)腔體6進(jìn)出檢修門9的方向設(shè)置，在內(nèi)腔體6進(jìn)出檢修門9 的時(shí)候，使得連接組件3從連接件19中間穿過(guò)，而不會(huì)發(fā)生碰撞，具有很好的實(shí)際意義。

49.第一進(jìn)料管13和第二進(jìn)料管12通過(guò)內(nèi)腔頂蓋20上的連接通孔18想反應(yīng)腔內(nèi)輸送前驅(qū)體，為了能夠讓前驅(qū)體在反應(yīng)腔內(nèi)部分布的更加均勻，在內(nèi)腔頂蓋20下方間隔設(shè)置有兩層均流板21，均流板21呈網(wǎng)孔狀結(jié)構(gòu)，在前驅(qū)體通過(guò)連接通孔18進(jìn)入反應(yīng)腔后，向下活動(dòng)的時(shí)候需要穿過(guò)均流板21，從而讓前驅(qū)體的分布更加均勻。優(yōu)選的，均流板21可拆卸的設(shè)置在內(nèi)腔頂桿朝向反應(yīng)腔體的一側(cè)，以便于拆卸清洗。

50.如圖4至圖5所示，在上述是實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，ald鍍膜設(shè)備還包含加熱組件。加熱組件包括配置于內(nèi)腔體6的第一加熱板25、配置于第一加熱板25的第一加熱棒24和第一熱電偶23。第一加熱棒24、第一熱電偶23采用快接插頭電連接于外部設(shè)備。加熱組件還包括配置于容納腔底部用以支撐內(nèi)腔體6的隔熱板8。

51.優(yōu)選的，加熱組件還包括配置于插板閥1的門板上的的第二加熱板、配置于第二加熱板的第二加熱棒和第二熱電偶。第二加熱棒、第二熱電偶采用快接插頭電連接于外部設(shè)備。通過(guò)在內(nèi)腔體6和門板上設(shè)置加熱組件，能夠保證反應(yīng)腔內(nèi)的溫度保持在最佳的反應(yīng)溫度，從而進(jìn)行鍍膜作業(yè)。并且通過(guò)快插接頭來(lái)連接誒加熱棒和熱電偶，能夠快速的進(jìn)行拆裝，以便于內(nèi)腔的清洗作業(yè)，具有很好的實(shí)際意義。

52.如圖3所示，在上述是實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型一可選的實(shí)施例中，內(nèi)腔體6設(shè)置有兩個(gè)物料開(kāi)口5，外腔組件設(shè)置有兩個(gè)插板閥1，兩個(gè)插板閥 1分別用以密封兩個(gè)物料開(kāi)口5中的一個(gè)。兩個(gè)物料開(kāi)口5分別用以放置物料和取出物料。外腔體2設(shè)置有進(jìn)料口和出料口，以及檢修口。進(jìn)料口和出料口分別正對(duì)著兩個(gè)物料開(kāi)口5中的一個(gè)。外腔組件還包括配置于檢修口的檢修門9。檢修口用以從容納腔中取放內(nèi)腔體6。定位構(gòu)件包括配置于容納腔底部的多個(gè)定位塊11。多個(gè)定位塊11之間形成有容納內(nèi)腔體6的限位空間。定位塊11設(shè)置有朝向限位空間的導(dǎo)向斜面10。外腔體2的底部設(shè)置有排料口7。內(nèi)腔體6的底部設(shè)置有和排料口7相適配的排料通孔26。排料通孔26 能夠和排料口7密封連接。

53.具體的，兩個(gè)物料開(kāi)口5貫穿式設(shè)置在內(nèi)腔體6上。定位構(gòu)件包括8個(gè)定位塊11，分別設(shè)置在內(nèi)腔體6的四角處，并且，設(shè)置于物料開(kāi)口5前方的定位塊11的高度低于設(shè)置于物料開(kāi)口5側(cè)面的定位塊11。通過(guò)將排料口7 設(shè)置在外腔體2的底部，使得內(nèi)腔體6通過(guò)自重下壓的方式就能夠進(jìn)行密封，而不用其他密封結(jié)構(gòu)，拆裝更快，更方便。進(jìn)料口和出料口分別用以連接物料預(yù)熱腔和物料冷卻腔，從而保證內(nèi)腔體6始終處于合適的鍍膜環(huán)境下進(jìn)行鍍膜作業(yè)，也不用進(jìn)行升溫作業(yè)和降溫作業(yè)，具有很好的實(shí)際意義。

54.以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。技術(shù)特征：

1.一種ald鍍膜設(shè)備，其特征在于，包含：外腔組件，包括設(shè)置有容納腔的外腔體(2)，以及接合于所述外腔體(2)的插板閥(1)；內(nèi)腔組件，包括可拆卸的配置于所述容納腔的內(nèi)腔體(6)；所述內(nèi)腔體(6)設(shè)置有用以進(jìn)行鍍膜反應(yīng)的反應(yīng)腔，以及連通于所述反應(yīng)腔用以取放待鍍膜產(chǎn)品的物料開(kāi)口(5)；其中，所述插板閥(1)用以密封所述物料開(kāi)口(5)；固定組件，包括設(shè)置于所述容納腔內(nèi)用以定位內(nèi)腔體(6)的定位構(gòu)件，以及用以接合于所述內(nèi)腔體(6)和所述外腔體(2)之間的第一伸縮頂緊構(gòu)件(4)；以及連接組件(3)，其接合于所述外腔體(2)，且構(gòu)造為：能夠通過(guò)快拆的方式接合于所述內(nèi)腔體(6)；以使外部設(shè)備連通于所述反應(yīng)腔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述連接組件(3)包括接合于所述外腔體(2)的波紋管(15)和接合于所述波紋管(15)的連接板(16)；所述連接板(16)設(shè)置有用以通過(guò)所述波紋管(15)連通到所述外腔體(2)外部的外設(shè)通孔；所述內(nèi)腔體(6)設(shè)置有和所述連接板(16)相適配的密封平面(17)，以及位于所述密封平面(17)且和所述外設(shè)通孔相適配的連接通孔(18)；所述固定組件還包括能夠接合于所述連接板(16)和所述外腔體(2)之間的第二伸縮頂緊構(gòu)件(14)；所述第二伸縮構(gòu)頂緊件用以將所述連接板(16)壓力抵接于所述內(nèi)腔體(6)，從而實(shí)現(xiàn)所述外設(shè)通孔和所述連接通孔(18)的密封連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述外設(shè)通孔、所述連接通孔(18)和所述波紋管(15)的數(shù)量均為至少為兩個(gè)；至少兩個(gè)波紋管(15)分別用以將至少兩個(gè)連接通孔(18)密封連接至所述外腔體(2)的外部；兩個(gè)連接通孔(18)分別和兩個(gè)外設(shè)通孔相適配；所述連接組件(3)還包括第一進(jìn)料管(13)和第二進(jìn)料管(12)；所述第一進(jìn)料管(13)和所述第二進(jìn)料管(12)分別密封連接于兩個(gè)外設(shè)通孔中的一個(gè)，并且穿過(guò)波紋管(15)延伸至外腔體(2)外面。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述內(nèi)腔組件還包括設(shè)置于所述內(nèi)腔體(6)的至少兩個(gè)連接件(19)；所述連接件(19)構(gòu)造為：用以接合外部的抬升設(shè)備，以從所述容納腔中取放所述內(nèi)腔組件。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述密封平面(17)設(shè)置于所述內(nèi)腔體(6)的頂部；所述至少兩個(gè)連接件(19)接合于所述內(nèi)腔體(6)的頂部；所述至少兩個(gè)連接件(19)分別配置于所述密封平面(17)的兩側(cè)；所述密封平面(17)沿著所述內(nèi)腔體(6)進(jìn)出所述容納腔的方向設(shè)置，以使所述內(nèi)腔體(6)進(jìn)出所述容納腔時(shí)所述連接件(19)不會(huì)和所述連接組件(3)發(fā)生干涉。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述內(nèi)腔體(6)包括內(nèi)腔本體(22)，以及可拆卸的配置于所述內(nèi)腔本體(22)的內(nèi)腔頂蓋(20)；所述連接通孔(18)設(shè)置于所述內(nèi)腔頂蓋(20)；所述內(nèi)腔組件還包括設(shè)置于所述內(nèi)腔頂蓋(20)朝向所述反應(yīng)腔一側(cè)的均流板(21)；所述均流板(21)上分布有多個(gè)通孔，用以使通入所述反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)物能夠均勻于所述反應(yīng)腔。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述ald鍍膜設(shè)備還包含加熱

組件；所述加熱組件包括配置于所述內(nèi)腔體(6)的第一加熱板(25)、配置于所述第一加熱板(25)的第一加熱棒(24)和第一熱電偶(23)；所述第一加熱棒(24)、所述第一熱電偶(23)采用快接插頭電連接于外部設(shè)備；所述加熱組件還包括配置于所述容納腔底部用以支撐所述內(nèi)腔體(6)的隔熱板(8)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述定位構(gòu)件包括配置于所述容納腔底部的多個(gè)定位塊(11)；所述多個(gè)定位塊(11)之間形成有容納所述內(nèi)腔體(6)的限位空間；所述定位塊(11)設(shè)置有朝向所述限位空間的導(dǎo)向斜面(10)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述外腔體(2)的底部設(shè)置有排料口(7)；所述內(nèi)腔體(6)的底部設(shè)置有和所述排料口(7)相適配的排料通孔(26)；所述排料通孔(26)能夠和所述排料口(7)密封連接。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種ald鍍膜設(shè)備,其特征在于,所述內(nèi)腔體(6)設(shè)置有兩個(gè)物料開(kāi)口(5)，所述外腔組件設(shè)置有兩個(gè)插板閥(1)，所述兩個(gè)插板閥(1)分別用以密封所述兩個(gè)物料開(kāi)口(5)中的一個(gè)；所述兩個(gè)物料開(kāi)口(5)分別用以放置物料和取出物料；所述外腔體(2)設(shè)置有進(jìn)料口和出料口，以及檢修口；所述進(jìn)料口和所述出料口分別正對(duì)著兩個(gè)所述物料開(kāi)口(5)中的一個(gè)；所述外腔組件還包括配置于所述檢修口的檢修門(9)；所述檢修口用以從所述容納腔中取放所述內(nèi)腔體(6)。

技術(shù)總結(jié)

本實(shí)用新型提供了一種ALD鍍膜設(shè)備，涉及原子層沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。其中，這種ALD鍍膜設(shè)備包含外腔組件、內(nèi)腔組件、固定組件和連接組件。外腔組件包括設(shè)置有容納腔的外腔體，以及接合于外腔體的插板閥。內(nèi)腔組件包括可拆卸的配置于容納腔的內(nèi)腔體。內(nèi)腔體設(shè)置有用以進(jìn)行鍍膜反應(yīng)的反應(yīng)腔，以及連通于反應(yīng)腔用以取放待鍍膜產(chǎn)品的物料開(kāi)口。插板閥用以密封物料開(kāi)口。固定組件包括設(shè)置于容納腔內(nèi)用以定位內(nèi)腔體的定位構(gòu)件，以及用以接合于內(nèi)腔體和外腔體之間的第一伸縮頂緊構(gòu)件。連接組件接合于外腔體，且構(gòu)造為：能夠通過(guò)快拆的方式接合于內(nèi)腔體。以使外部設(shè)備連通于反應(yīng)腔。簡(jiǎn)化了內(nèi)腔組件的安裝和拆除步驟，使得內(nèi)腔組件能夠更加方便的進(jìn)行拆洗。便的進(jìn)行拆洗。便的進(jìn)行拆洗。

技術(shù)研發(fā)人員：田玉峰

受保護(hù)的技術(shù)使用者：廈門韞茂科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2022.03.25

技術(shù)公布日：2022/7/11