1.本實(shí)用新型涉及一種晶圓分選機(jī)部件，具體地說(shuō)，是一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

2.晶圓是指制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓。晶圓加工過(guò)程中，由于外界因素會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)的晶圓種類(lèi)和質(zhì)量有所不同，通常在自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)機(jī)中進(jìn)行aoi測(cè)試，對(duì)晶圓的種類(lèi)、質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)后，然后依據(jù)種類(lèi)及質(zhì)量的不同對(duì)晶圓進(jìn)行分選，把不同的晶圓分隔開(kāi)來(lái)。

3.目前，晶圓的分選工藝主要是通過(guò)人工進(jìn)行分選，分選工人需要對(duì)每片晶圓進(jìn)行仔細(xì)檢查后進(jìn)行歸類(lèi)放置，不但分選效率低，勞動(dòng)強(qiáng)度大，分選成本高，且人工分選無(wú)法對(duì)襯底號(hào)進(jìn)行排序，在分選過(guò)程中，由于人員操作不細(xì)心等各種主觀原因易導(dǎo)致分選錯(cuò)誤，且在分選時(shí)易對(duì)晶圓造成劃傷，會(huì)導(dǎo)致晶圓直接報(bào)廢或降級(jí)處理，直接影響晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量及產(chǎn)品合格率。因此，開(kāi)發(fā)一種晶圓自動(dòng)分選機(jī)，不但具有迫切的研究?jī)r(jià)值，也具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和工業(yè)應(yīng)用潛力。

4.在晶圓分選機(jī)的工作循環(huán)中，晶圓需要裝載在托盤(pán)進(jìn)行檢測(cè)上下料作業(yè)，故托盤(pán)的取收是一個(gè)重要的工作部分，傳統(tǒng)的自動(dòng)化晶圓分選設(shè)備中采用的是取收分離式的供料機(jī)構(gòu)，取盤(pán)機(jī)構(gòu)和放盤(pán)機(jī)構(gòu)分列在分選機(jī)構(gòu)的兩端，這種分離式的托盤(pán)供料取收機(jī)構(gòu)不利于機(jī)構(gòu)的精簡(jiǎn)，會(huì)延長(zhǎng)整體設(shè)備的長(zhǎng)度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

5.發(fā)明目的：本實(shí)用新型目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)。

6.技術(shù)方案：本實(shí)用新型所述一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，包括取收平臺(tái)以及架設(shè)在取收平臺(tái)上的取盤(pán)機(jī)構(gòu)和收盤(pán)機(jī)構(gòu)，所述取盤(pán)機(jī)構(gòu)包括取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的供盤(pán)彈夾倉(cāng)，所述收盤(pán)機(jī)構(gòu)包括收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的收盤(pán)彈夾倉(cāng)，所述取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道平行設(shè)置且供盤(pán)彈夾倉(cāng)和收盤(pán)彈夾倉(cāng)分別設(shè)置在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道的同一端。

7.作為優(yōu)選的，所述取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道包括取盤(pán)軌道和緊貼取盤(pán)軌道兩側(cè)壁的取盤(pán)帶式輸送機(jī)，所述收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道包括收盤(pán)軌道和緊貼收盤(pán)軌道兩側(cè)壁的收盤(pán)帶式輸送機(jī)。

8.作為優(yōu)選的，所述取盤(pán)帶式輸送機(jī)一側(cè)設(shè)有配合的托盤(pán)精定位裝置。

9.作為優(yōu)選的，所述托盤(pán)精定位裝置包括架設(shè)在取盤(pán)帶式輸送機(jī)一側(cè)的伸縮定位頂桿。

10.作為優(yōu)選的，所述供盤(pán)彈夾倉(cāng)包括供盤(pán)夾具以及架設(shè)在供盤(pán)夾具上的供料托舉組件和阻擋氣缸，所述收盤(pán)彈夾倉(cāng)包括收盤(pán)夾具以及架設(shè)在收盤(pán)夾具上的收料托舉組件和防跌落裝置。

11.作為優(yōu)選的，所述防跌落裝置包括安裝在收盤(pán)夾具上的若干個(gè)翻轉(zhuǎn)式卡扣。

12.本實(shí)用新型相比于現(xiàn)有技術(shù)具有以下有益效果：將晶圓分選機(jī)中用于裝載晶圓的托盤(pán)在晶圓上下料的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)了同平面同側(cè)的取盤(pán)和收盤(pán)作業(yè)，有效提高了設(shè)備的整體性，減小了托盤(pán)及托盤(pán)上晶圓在檢測(cè)分揀作業(yè)中行進(jìn)的行程。

附圖說(shuō)明

13.圖1為本實(shí)用新型一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

14.圖中：1、取收平臺(tái)；2、取盤(pán)軌道；3、取盤(pán)帶式輸送機(jī)；4、伸縮定位頂桿；5、供盤(pán)彈夾倉(cāng)；51、供盤(pán)夾具；52、供料托舉組件；53、阻擋氣缸；6、收盤(pán)軌道；7、收盤(pán)帶式輸送機(jī)；8、收盤(pán)彈夾倉(cāng)；81、收盤(pán)夾具；82、收料托舉組件；83、翻轉(zhuǎn)式卡扣。

具體實(shí)施方式

15.下面將對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

16.在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

17.在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，也可以是成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接，也可以是通訊連接；可以是直接連接，也可以通過(guò)中間媒介的間接連接，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

18.下面以具體地實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。下面這幾個(gè)具體的實(shí)施例可以相互結(jié)合，對(duì)于相同或相似的概念或過(guò)程可能在某些實(shí)施例不再贅述。

19.一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，包括取收平臺(tái)1以及架設(shè)在取收平臺(tái)1上的取盤(pán)機(jī)構(gòu)和收盤(pán)機(jī)構(gòu)，取盤(pán)機(jī)構(gòu)包括取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的供盤(pán)彈夾倉(cāng)5，收盤(pán)機(jī)構(gòu)包括收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的收盤(pán)彈夾倉(cāng)8，取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道平行設(shè)置且供盤(pán)彈夾倉(cāng)5和收盤(pán)彈夾倉(cāng)8分別設(shè)置在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道的同一端。取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道均根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要設(shè)置若干組并平行架設(shè)在取收平臺(tái)1上，構(gòu)建了基礎(chǔ)的上下料工作平面；采用供盤(pán)彈夾倉(cāng)5和收盤(pán)彈夾倉(cāng)8作為托盤(pán)的基礎(chǔ)供給部和收納部，可以實(shí)現(xiàn)大量托盤(pán)的一次性裝載和取出，從而可以取消傳統(tǒng)設(shè)備中需往復(fù)工作的機(jī)械手，在保證循環(huán)效率的前提下極大的降低了設(shè)備的硬件成本。這一技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)在于將晶圓分選機(jī)中用于裝載晶圓的托盤(pán)在晶圓上下料的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)了同平面同側(cè)的取盤(pán)和收盤(pán)作業(yè)，有效提高了設(shè)備的整體性，減小了托盤(pán)及托盤(pán)上晶

圓在檢測(cè)分揀作業(yè)中行進(jìn)的行程。

20.具體的，取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道包括取盤(pán)軌道2和緊貼取盤(pán)軌道2兩側(cè)壁的取盤(pán)帶式輸送機(jī)3，收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道包括收盤(pán)軌道6和緊貼收盤(pán)軌道6兩側(cè)壁的收盤(pán)帶式輸送機(jī)7，取盤(pán)帶式輸送機(jī)3一側(cè)設(shè)有配合的托盤(pán)精定位裝置，托盤(pán)精定位裝置包括架設(shè)在取盤(pán)帶式輸送機(jī)3一側(cè)的伸縮定位頂桿4，供盤(pán)彈夾倉(cāng)5包括供盤(pán)夾具51以及架設(shè)在供盤(pán)夾具51上的供料托舉組件52和阻擋氣缸53，收盤(pán)彈夾倉(cāng)8包括收盤(pán)夾具81以及架設(shè)在收盤(pán)夾具81上的收料托舉組件82和防跌落裝置，防跌落裝置包括安裝在收盤(pán)夾具81上的若干個(gè)翻轉(zhuǎn)式卡扣83。

21.具體實(shí)施時(shí)，人工或配套上料機(jī)械手將滿載晶圓的托盤(pán)放入供盤(pán)夾具51，隨后供盤(pán)夾具51下方的供料托舉組件52上升至供盤(pán)夾具51底部，準(zhǔn)備接住最底部托盤(pán)，托盤(pán)側(cè)面的阻擋氣缸53執(zhí)行放行動(dòng)作，供盤(pán)托舉組件下降一片托盤(pán)的高度，托盤(pán)側(cè)面阻擋氣缸53執(zhí)行阻擋動(dòng)作，即阻止除最底部托盤(pán)外上部疊放的托盤(pán)的下降動(dòng)作，隨后供盤(pán)托舉組件繼續(xù)下降，直至搭載的最底部的單片托盤(pán)與下方的取盤(pán)帶式輸送機(jī)3兩側(cè)的輸送帶接觸并將托盤(pán)運(yùn)送到測(cè)試區(qū)域的待抓取位置，同時(shí)伸縮定位頂桿4作為托盤(pán)精定位裝置執(zhí)行精確定位動(dòng)作，測(cè)試作業(yè)完成后，合格的晶圓由檢測(cè)部運(yùn)送至收盤(pán)軌道6的末端并由收盤(pán)帶式輸送機(jī)7驅(qū)動(dòng)運(yùn)送至收盤(pán)夾具81，隨后收料托舉組件82執(zhí)行頂升動(dòng)作將進(jìn)入收盤(pán)夾具81頂升至一片托盤(pán)的高度，隨后翻轉(zhuǎn)式卡扣83作為防跌落裝置執(zhí)行翻轉(zhuǎn)定位動(dòng)作，在緊貼收盤(pán)軌道6的區(qū)域留下下一塊托盤(pán)的容置空間，如此往復(fù)完成收盤(pán)作業(yè)。

22.在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接觸，或第一特征和第二特征通過(guò)中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。 第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度低于第二特征。在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”或“一些示例”等的描述，意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不必須針對(duì)的是相同的實(shí)施例或示例。

23.而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任意一個(gè)或者多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說(shuō)明書(shū)中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)合和組合。

24.最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或?qū)ζ渲胁糠只蛘呷考夹g(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。技術(shù)特征：

1.一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，包括取收平臺(tái)以及架設(shè)在取收平臺(tái)上的取盤(pán)機(jī)構(gòu)和收盤(pán)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述取盤(pán)機(jī)構(gòu)包括取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的供盤(pán)彈夾倉(cāng)，所述收盤(pán)機(jī)構(gòu)包括收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的收盤(pán)彈夾倉(cāng)，所述取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道平行設(shè)置且供盤(pán)彈夾倉(cāng)和收盤(pán)彈夾倉(cāng)分別設(shè)置在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道的同一端。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道包括取盤(pán)軌道和緊貼取盤(pán)軌道兩側(cè)壁的取盤(pán)帶式輸送機(jī)，所述收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道包括收盤(pán)軌道和緊貼收盤(pán)軌道兩側(cè)壁的收盤(pán)帶式輸送機(jī)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述取盤(pán)帶式輸送機(jī)一側(cè)設(shè)有配合的托盤(pán)精定位裝置。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述托盤(pán)精定位裝置包括架設(shè)在取盤(pán)帶式輸送機(jī)一側(cè)的伸縮定位頂桿。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述供盤(pán)彈夾倉(cāng)包括供盤(pán)夾具以及架設(shè)在供盤(pán)夾具上的供料托舉組件和阻擋氣缸，所述收盤(pán)彈夾倉(cāng)包括收盤(pán)夾具以及架設(shè)在收盤(pán)夾具上的收料托舉組件和防跌落裝置。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述防跌落裝置包括安裝在收盤(pán)夾具上的若干個(gè)翻轉(zhuǎn)式卡扣。

技術(shù)總結(jié)

本實(shí)用新型公開(kāi)一種晶圓分選機(jī)的一體式托盤(pán)取收機(jī)構(gòu)，包括取收平臺(tái)以及架設(shè)在取收平臺(tái)上的取盤(pán)機(jī)構(gòu)和收盤(pán)機(jī)構(gòu)，所述取盤(pán)機(jī)構(gòu)包括取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的供盤(pán)彈夾倉(cāng)，所述收盤(pán)機(jī)構(gòu)包括收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和架設(shè)在收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道頂端的收盤(pán)彈夾倉(cāng)，所述取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道平行設(shè)置且供盤(pán)彈夾倉(cāng)和收盤(pán)彈夾倉(cāng)分別設(shè)置在取盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道和收盤(pán)驅(qū)動(dòng)軌道的同一端，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于將晶圓分選機(jī)中用于裝載晶圓的托盤(pán)在晶圓上下料的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)了同平面同側(cè)的取盤(pán)和收盤(pán)作業(yè)，有效提高了設(shè)備的整體性，減小了托盤(pán)及托盤(pán)上晶圓在檢測(cè)分揀作業(yè)中行進(jìn)的行程。盤(pán)上晶圓在檢測(cè)分揀作業(yè)中行進(jìn)的行程。盤(pán)上晶圓在檢測(cè)分揀作業(yè)中行進(jìn)的行程。

技術(shù)研發(fā)人員：季林 卞則軍

受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州博康智能科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2021.10.26

技術(shù)公布日：2022/4/21