權(quán)利要求

1.一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：包括以下步驟：

S1、混合氮化鋁粉末與納米增強(qiáng)劑，使用高精度混合設(shè)備確保均勻分散，以形成混合漿料;

S2、采用流延設(shè)備將混合漿料制成均勻薄膜，并且在流延設(shè)備上將漿料間歇的進(jìn)行隔段打孔，以增大部分位置的薄膜表面接觸面積;

S3、對(duì)薄膜采用熱等靜壓燒結(jié)工藝，并使帶孔的薄膜位于最上方，在高溫高壓下處理以形成表面帶凹槽的基板;

S4、對(duì)表面帶凹槽的基板進(jìn)行等離子處理，然后通過(guò)真空濺射技術(shù)，均勻沉積鋁層在基板表面，以進(jìn)行覆鋁處理;

S5、將覆鋁處理后的基板使用激光切割設(shè)備進(jìn)行精確加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述納米增強(qiáng)劑為碳納米管和石墨烯的混合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述流延設(shè)備包括臺(tái)座(1)、安裝于臺(tái)座(1)內(nèi)部前側(cè)的驅(qū)動(dòng)主體(2)、連接于驅(qū)動(dòng)主體(2)頂側(cè)左部的輸送帶(3)、安裝于輸送帶(3)內(nèi)部前后兩側(cè)的兩個(gè)張緊輥(4)以及從后至前依次排列設(shè)置于臺(tái)座(1)頂部的漿液箱(5)、緊壓機(jī)構(gòu)(7)、打孔機(jī)構(gòu)(8)和蒸發(fā)主體(9)，所述漿液箱(5)前側(cè)壁底部緊固有刮刀(6)，所述輸送帶(3)安裝于臺(tái)座(1)內(nèi)部頂側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述緊壓機(jī)構(gòu)(7)包括固定連接于臺(tái)座(1)頂部左右兩側(cè)的外框架(71)、安裝于外框架(71)內(nèi)部左右兩側(cè)的兩個(gè)氣缸(72)、連接于氣缸(72)底端部的移位架(73)、滑動(dòng)連接于移位架(73)頂部左側(cè)的側(cè)架(74)、滑動(dòng)連接于移位架(73)頂部右側(cè)的矩形塊(75)以及設(shè)置于移位架(73)底側(cè)的滾壓結(jié)構(gòu)(76)，所述側(cè)架(74)和矩形塊(75)頂部均與外框架(71)相緊固，所述移位架(73)左側(cè)插入滑動(dòng)于外框架(71)內(nèi)部，所述滾壓結(jié)構(gòu)(76)頂側(cè)貫穿設(shè)置于側(cè)架(74)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述滾壓結(jié)構(gòu)(76)包括緊固于側(cè)架(74)右側(cè)的第一電機(jī)(761)、連接于第一電機(jī)(761)左側(cè)輸出端的第一錐齒輪(762)、嚙合于第一錐齒輪(762)頂部左側(cè)的第二錐齒輪(763)、貫穿設(shè)置于第二錐齒輪(763)內(nèi)部中側(cè)的轉(zhuǎn)桿(764)、包裹設(shè)置于轉(zhuǎn)桿(764)外表面底側(cè)的套塊(765)、連接于套塊(765)底側(cè)的第三錐齒輪(766)、嚙合傳動(dòng)于第三錐齒輪(766)底部右側(cè)的第四錐齒輪(767)以及連接于第四錐齒輪(767)右側(cè)中部的壓輥(768)，所述轉(zhuǎn)桿(764)頂側(cè)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于側(cè)架(74)內(nèi)部，所述套塊(765)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于移位架(73)左側(cè)內(nèi)部，所述壓輥(768)右側(cè)中部與移位架(73)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且壓輥(768)左部中側(cè)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于移位架(73)內(nèi)部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述轉(zhuǎn)桿(764)外表面底側(cè)縱向開設(shè)有條形槽(7641)，所述套塊(765)內(nèi)部設(shè)置有凸塊，并且凸塊插入滑動(dòng)于條形槽(7641)內(nèi)側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述打孔機(jī)構(gòu)(8)包括左右兩側(cè)底部與臺(tái)座(1)相固定的門形架(81)、緊固于門形架(81)頂部左側(cè)的第二電機(jī)(82)、連接于第二電機(jī)(82)底部輸出端的抬壓結(jié)構(gòu)(83)、連接于抬壓結(jié)構(gòu)(83)底側(cè)的橫板(84)、緊固于抬壓結(jié)構(gòu)(83)底部右側(cè)的連接頭(85)以及設(shè)置于連接頭(85)底部的壓孔結(jié)構(gòu)(86)，所述抬壓結(jié)構(gòu)(83)上下兩側(cè)分別貫穿設(shè)置于門形架(81)和橫板(84)內(nèi)部，所述橫板(84)左右兩側(cè)均與門形架(81)相固定。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述抬壓結(jié)構(gòu)(83)包括與第二電機(jī)(82)底部輸出端相連接的軸桿(831)、包裹固定于軸桿(831)外表面中部的斜盤(832)、分別接觸滑動(dòng)于斜盤(832)右部上下兩側(cè)的第一斜塊(833)和第二斜塊(834)、連接于第一斜塊(833)頂部的第一支套(835)、連接于第二斜塊(834)底部的第二支套(836)以及貫穿固定于第一支套(835)和第二支套(836)內(nèi)部的立桿(837)，所述軸桿(831)底部與橫板(84)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述立桿(837)底端部與連接頭(85)相緊固，所述立桿(837)右側(cè)上下兩部均開設(shè)有定位槽(8371)，并且立桿(837)上的兩個(gè)定位槽(8371)處分別呈縱向狀貫穿滑動(dòng)于門形架(81)和橫板(84)內(nèi)部。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述壓孔結(jié)構(gòu)(86)包括后部中側(cè)與連接頭(85)相緊固的框罩(861)，所述框罩(861)內(nèi)部中側(cè)緊固有槽架(862)，所述槽架(862)右側(cè)安裝有調(diào)位組件(863)，所述調(diào)位組件(863)前部左側(cè)連接有第一短桿(864)，所述第一短桿(864)另一端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有長(zhǎng)桿(865)，所述長(zhǎng)桿(865)設(shè)置有九個(gè)，且兩兩之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接以依次排列分布于槽架(862)前側(cè)，位于最左側(cè)的長(zhǎng)桿(865)上端與第二短桿(867)相連接，九個(gè)所述長(zhǎng)桿(865)內(nèi)部中側(cè)均貫穿設(shè)置有第一插桿(866)，且第一插桿(866)后側(cè)與槽架(862)滑動(dòng)連接，所述第二短桿(867)底側(cè)中部貫穿設(shè)置有第二插桿(868)，且第二插桿(868)后側(cè)與槽架(862)滑動(dòng)連接，所述調(diào)位組件(863)貫穿設(shè)置于框罩(861)上部右側(cè)，所述框罩(861)前部中側(cè)橫向開設(shè)有通槽，并且第一插桿(866)和第二插桿(868)前部貫穿設(shè)置于通槽內(nèi)側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，其特征在于：所述調(diào)位組件(863)包括緊固于槽架(862)右側(cè)的支承架(8631)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接于支承架(8631)內(nèi)部右側(cè)的蝸桿(8632)、固定連接于蝸桿(8632)頂端部的旋頭(8633)、嚙合傳動(dòng)于蝸桿(8632)左側(cè)的蝸輪(8634)以及固定連接于蝸輪(8634)前部中側(cè)的連桿(8635)，所述旋頭(8633)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于框罩(861)上部右側(cè)，所述連桿(8635)后側(cè)與支承架(8631)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且連桿(8635)前端部與第一短桿(864)相連接。

說(shuō)明書

技術(shù)領(lǐng)域

[0001]本發(fā)明涉及陶瓷基板材料技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝。

背景技術(shù)

[0002]氮化鋁陶瓷基板作為一種新型陶瓷基板，具有導(dǎo)熱效率高、較低的介電常數(shù)和介質(zhì)能耗，可靠的絕緣性能，優(yōu)良的力學(xué)性能，無(wú)毒耐高溫，耐化學(xué)腐蝕的特點(diǎn);隨著微電子設(shè)備的迅猛發(fā)展，高導(dǎo)熱氮化鋁基板廣泛應(yīng)用于通訊期間，高亮度LED，電力電子器件等行業(yè)，是一種性能優(yōu)秀的電子陶瓷材料。

[0003]目前，中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)枺篊N202111242796.8公開了一種氮化鋁陶瓷基板，由氮化鋁粉體、燒結(jié)助劑、抗彎復(fù)合材料、有機(jī)溶劑、消泡劑組成，其組分按重量份數(shù)計(jì)為：氮化鋁粉體70-90份、燒結(jié)助劑2-6份、抗彎復(fù)合材料8-12份、有機(jī)溶劑1-3份、消泡劑3-7份。

[0004]但是，現(xiàn)有技術(shù)在氮化鋁陶瓷基板的生產(chǎn)過(guò)程中，通常直接將鋁層涂覆在陶瓷基板表面，鋁層與陶瓷基板之間的相互作用力相對(duì)較小，并且在使用的流延設(shè)備中，不便對(duì)漿料的厚度進(jìn)行調(diào)控，且對(duì)漿料中溶劑的蒸發(fā)效率較差，不便對(duì)制備薄膜的漿料進(jìn)行處理，使該薄膜制成的基板與鋁層之間的連接效果較差，影響陶瓷基板的導(dǎo)電性和性能。

發(fā)明內(nèi)容

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取以下技術(shù)方案：一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：

[0007]S1、混合氮化鋁粉末與納米增強(qiáng)劑，使用高精度混合設(shè)備確保均勻分散，以形成混合漿料;

[0008]S2、采用流延設(shè)備將混合漿料制成均勻薄膜，并且在流延設(shè)備上將漿料間歇的進(jìn)行隔段打孔，以增大部分位置的薄膜表面接觸面積;

[0009]S3、對(duì)薄膜采用熱等靜壓燒結(jié)工藝，并使帶孔的薄膜位于最上方，在高溫高壓下處理以形成表面帶凹槽的基板;

[0010]S4、對(duì)表面帶凹槽的基板進(jìn)行等離子處理，然后通過(guò)真空濺射技術(shù)，均勻沉積鋁層在基板表面，以進(jìn)行覆鋁處理;

[0011]S5、將覆鋁處理后的基板使用激光切割設(shè)備進(jìn)行精確加工。

[0012]優(yōu)選的，所述納米增強(qiáng)劑為碳納米管和石墨烯的混合物。

[0013]優(yōu)選的，所述流延設(shè)備包括臺(tái)座、安裝于臺(tái)座內(nèi)部前側(cè)的驅(qū)動(dòng)主體、連接于驅(qū)動(dòng)主體頂側(cè)左部的輸送帶、安裝于輸送帶內(nèi)部前后兩側(cè)的兩個(gè)張緊輥以及從后至前依次排列設(shè)置于臺(tái)座頂部的漿液箱、緊壓機(jī)構(gòu)、打孔機(jī)構(gòu)和蒸發(fā)主體，所述漿液箱前側(cè)壁底部緊固有刮刀，所述輸送帶安裝于臺(tái)座內(nèi)部頂側(cè)。

[0014]優(yōu)選的，所述緊壓機(jī)構(gòu)包括固定連接于臺(tái)座頂部左右兩側(cè)的外框架、安裝于外框架內(nèi)部左右兩側(cè)的兩個(gè)氣缸、連接于氣缸底端部的移位架、滑動(dòng)連接于移位架頂部左側(cè)的側(cè)架、滑動(dòng)連接于移位架頂部右側(cè)的矩形塊以及設(shè)置于移位架底側(cè)的滾壓結(jié)構(gòu)，所述側(cè)架和矩形塊頂部均與外框架相緊固，所述移位架左側(cè)插入滑動(dòng)于外框架內(nèi)部，所述滾壓結(jié)構(gòu)頂側(cè)貫穿設(shè)置于側(cè)架內(nèi)部。

[0015]優(yōu)選的，所述滾壓結(jié)構(gòu)包括緊固于側(cè)架右側(cè)的第一電機(jī)、連接于第一電機(jī)左側(cè)輸出端的第一錐齒輪、嚙合于第一錐齒輪頂部左側(cè)的第二錐齒輪、貫穿設(shè)置于第二錐齒輪內(nèi)部中側(cè)的轉(zhuǎn)桿、包裹設(shè)置于轉(zhuǎn)桿外表面底側(cè)的套塊、連接于套塊底側(cè)的第三錐齒輪、嚙合傳動(dòng)于第三錐齒輪底部右側(cè)的第四錐齒輪以及連接于第四錐齒輪右側(cè)中部的壓輥，所述轉(zhuǎn)桿頂側(cè)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于側(cè)架內(nèi)部，所述套塊貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于移位架左側(cè)內(nèi)部，所述壓輥右側(cè)中部與移位架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且壓輥?zhàn)蟛恐袀?cè)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于移位架內(nèi)部。

[0016]優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)桿外表面底側(cè)縱向開設(shè)有條形槽，所述套塊內(nèi)部設(shè)置有凸塊，并且凸塊插入滑動(dòng)于條形槽內(nèi)側(cè)。

[0017]優(yōu)選的，所述打孔機(jī)構(gòu)包括左右兩側(cè)底部與臺(tái)座相固定的門形架、緊固于門形架頂部左側(cè)的第二電機(jī)、連接于第二電機(jī)底部輸出端的抬壓結(jié)構(gòu)、連接于抬壓結(jié)構(gòu)底側(cè)的橫板、緊固于抬壓結(jié)構(gòu)底部右側(cè)的連接頭以及設(shè)置于連接頭底部的壓孔結(jié)構(gòu)，所述抬壓結(jié)構(gòu)上下兩側(cè)分別貫穿設(shè)置于門形架和橫板內(nèi)部，所述橫板左右兩側(cè)均與門形架相固定。

[0018]優(yōu)選的，所述抬壓結(jié)構(gòu)包括與第二電機(jī)底部輸出端相連接的軸桿、包裹固定于軸桿外表面中部的斜盤、分別接觸滑動(dòng)于斜盤右部上下兩側(cè)的第一斜塊和第二斜塊、連接于第一斜塊頂部的第一支套、連接于第二斜塊底部的第二支套以及貫穿固定于第一支套和第二支套內(nèi)部的立桿，所述軸桿底部與橫板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述立桿底端部與連接頭相緊固，所述立桿右側(cè)上下兩部均開設(shè)有定位槽，并且立桿上的兩個(gè)定位槽處分別呈縱向狀貫穿滑動(dòng)于門形架和橫板內(nèi)部。

[0019]優(yōu)選的，所述壓孔結(jié)構(gòu)包括后部中側(cè)與連接頭相緊固的框罩，所述框罩內(nèi)部中側(cè)緊固有槽架，所述槽架右側(cè)安裝有調(diào)位組件，所述調(diào)位組件前部左側(cè)連接有第一短桿，所述第一短桿另一端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有長(zhǎng)桿，所述長(zhǎng)桿設(shè)置有九個(gè)，且兩兩之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接以依次排列分布于槽架前側(cè)，位于最左側(cè)的長(zhǎng)桿上端與第二短桿相連接，九個(gè)所述長(zhǎng)桿內(nèi)部中側(cè)均貫穿設(shè)置有第一插桿，且第一插桿后側(cè)與槽架滑動(dòng)連接，所述第二短桿底側(cè)中部貫穿設(shè)置有第二插桿，且第二插桿后側(cè)與槽架滑動(dòng)連接，所述調(diào)位組件貫穿設(shè)置于框罩上部右側(cè)，所述框罩前部中側(cè)橫向開設(shè)有通槽，并且第一插桿和第二插桿前部貫穿設(shè)置于通槽內(nèi)側(cè)。

[0020]優(yōu)選的，所述調(diào)位組件包括緊固于槽架右側(cè)的支承架、轉(zhuǎn)動(dòng)連接于支承架內(nèi)部右側(cè)的蝸桿、固定連接于蝸桿頂端部的旋頭、嚙合傳動(dòng)于蝸桿左側(cè)的蝸輪以及固定連接于蝸輪前部中側(cè)的連桿，所述旋頭貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于框罩上部右側(cè)，所述連桿后側(cè)與支承架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且連桿前端部與第一短桿相連接。

[0021]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

[0022]本發(fā)明混合氮化鋁粉末與納米增強(qiáng)劑后，采用流延設(shè)備將混合漿料制成均勻薄膜，并且在流延設(shè)備上將漿料間歇的進(jìn)行隔段打孔，以增大部分位置的薄膜表面接觸面積，然后對(duì)薄膜采用熱等靜壓燒結(jié)工藝，并使帶孔的薄膜位于最上方，在高溫高壓下處理形成表面帶凹槽的基板，增加材料致密性和機(jī)械性能，然后對(duì)表面帶凹槽的基板進(jìn)行等離子處理，進(jìn)行表面清潔和活化，提高鋁層的附著力，再通過(guò)真空濺射技術(shù)，均勻沉積鋁層在基板表面，以進(jìn)行覆鋁處理，且部分鋁層填充入基板的表面凹槽中，提高了基板與鋁層的連接效果，進(jìn)一步提高陶瓷基板的導(dǎo)電性和性能。

[0023]本發(fā)明在氮化鋁覆鋁陶瓷基板的生產(chǎn)工藝中，優(yōu)化使用了流延設(shè)備，在流延設(shè)備的漿液箱前側(cè)壁底部緊固有刮刀，通過(guò)刮刀使?jié){液箱內(nèi)流出的漿料平鋪在輸送帶上，在漿料輸送移動(dòng)至緊壓機(jī)構(gòu)下方時(shí)對(duì)漿料壓緊壓實(shí)，以提高材料的致密性，然后在漿料通過(guò)打孔機(jī)構(gòu)下方后進(jìn)入蒸發(fā)主體內(nèi)對(duì)漿料的溶劑蒸發(fā)處理以制成薄膜，并且可使打孔機(jī)構(gòu)定期啟動(dòng)，以在薄膜上隔一段位置打出一片小區(qū)域的孔，以增大薄膜打孔部位的表面接觸面積，提高與其他材料的連接效果。

[0024]本發(fā)明通過(guò)第三錐齒輪和第四錐齒輪的配合使壓輥在移位架內(nèi)側(cè)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使壓輥在與漿料接觸后對(duì)平鋪的漿料進(jìn)行擠壓，且通過(guò)壓輥高度位置的調(diào)節(jié)以控制漿料的厚度，轉(zhuǎn)桿外表面底側(cè)縱向開設(shè)有條形槽，套塊內(nèi)部設(shè)置有凸塊，并且凸塊插入滑動(dòng)于條形槽內(nèi)側(cè)，以便于套塊在轉(zhuǎn)桿表面調(diào)節(jié)高度位置，且在套塊的高度移動(dòng)后通過(guò)轉(zhuǎn)桿上條形槽與套塊內(nèi)凸塊的配合使套塊高度移動(dòng)后仍可進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

[0025]本發(fā)明的長(zhǎng)桿設(shè)置有九個(gè)，且兩兩之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接以依次排列分布于槽架前側(cè)，位于最左側(cè)的長(zhǎng)桿上端與第二短桿相連接，九個(gè)長(zhǎng)桿內(nèi)部中側(cè)均貫穿設(shè)置有第一插桿，且第一插桿后側(cè)與槽架滑動(dòng)連接，第二短桿底側(cè)中部貫穿設(shè)置有第二插桿，且第二插桿后側(cè)與槽架滑動(dòng)連接，在第一短桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)九個(gè)長(zhǎng)桿和第二短桿進(jìn)行展開，從而使第一插桿和第二插桿進(jìn)行橫向移位后展開位置，以調(diào)節(jié)對(duì)平鋪的漿料的壓孔位置。

附圖說(shuō)明

[0026]圖1為本發(fā)明流延設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;

[0027]圖2為本發(fā)明緊壓機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;

[0028]圖3為本發(fā)明滾壓結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;

[0029]圖4為本發(fā)明打孔機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;

[0030]圖5為本發(fā)明抬壓結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;

[0031]圖6為本發(fā)明圖4中的壓孔結(jié)構(gòu)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)仰視圖;

[0032]圖7為本發(fā)明調(diào)位組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

[0033]圖中：臺(tái)座-1、驅(qū)動(dòng)主體-2、輸送帶-3、張緊輥-4、漿液箱-5、刮刀-6、緊壓機(jī)構(gòu)-7、打孔機(jī)構(gòu)-8、蒸發(fā)主體-9、外框架-71、氣缸-72、移位架-73、側(cè)架-74、矩形塊-75、滾壓結(jié)構(gòu)-76、第一電機(jī)-761、第一錐齒輪-762、第二錐齒輪-763、轉(zhuǎn)桿-764、套塊-765、第三錐齒輪-766、第四錐齒輪-767、壓輥-768、條形槽-7641、門形架-81、第二電機(jī)-82、抬壓結(jié)構(gòu)-83、橫板-84、連接頭-85、壓孔結(jié)構(gòu)-86、軸桿-831、斜盤-832、第一斜塊-833、第二斜塊-834、第一支套-835、第二支套-836、立桿-837、定位槽-8371、框罩-861、槽架-862、調(diào)位組件-863、第一短桿-864、長(zhǎng)桿-865、第一插桿-866、第二短桿-867、第二插桿-868、支承架-8631、蝸桿-8632、旋頭-8633、蝸輪-8634、連桿-8635。

具體實(shí)施方式

[0034]為了進(jìn)一步解釋本發(fā)明的技術(shù)方案，下面通過(guò)具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述。

[0035]本發(fā)明提供一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：

[0036]S1、混合氮化鋁粉末與納米增強(qiáng)劑，混合比例為95:5，使用高精度混合設(shè)備確保均勻分散，以形成混合漿料;

[0037]S2、采用流延設(shè)備將混合漿料制成均勻薄膜，并且在流延設(shè)備上將漿料間歇的進(jìn)行隔段打孔，以增大部分位置的薄膜表面接觸面積;

[0038]S3、對(duì)薄膜采用熱等靜壓燒結(jié)工藝，并使帶孔的薄膜位于最上方，在高溫高壓下處理以形成表面帶凹槽的基板，增加材料致密性和機(jī)械性能;

[0039]S4、對(duì)表面帶凹槽的基板進(jìn)行等離子處理，用于表面清潔和活化，提高鋁層的附著力，然后通過(guò)真空濺射技術(shù)，均勻沉積鋁層在基板表面，以進(jìn)行覆鋁處理，提高導(dǎo)電性和性能;

[0040]S5、將覆鋁處理后的基板使用激光切割設(shè)備進(jìn)行精確加工，確保產(chǎn)品符合規(guī)格。

[0041]其中，納米增強(qiáng)劑為碳納米管和石墨烯的混合物，碳納米管和石墨烯的混合比例為1:2，以提高導(dǎo)熱性和機(jī)械強(qiáng)度。

[0042]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明提供一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，流延設(shè)備包括臺(tái)座1、安裝于臺(tái)座1內(nèi)部前側(cè)的驅(qū)動(dòng)主體2、連接于驅(qū)動(dòng)主體2頂側(cè)左部的輸送帶3，以通過(guò)驅(qū)動(dòng)主體2帶動(dòng)輸送帶3進(jìn)行移位動(dòng)作，安裝于輸送帶3內(nèi)部前后兩側(cè)的兩個(gè)張緊輥4以及從后至前依次排列設(shè)置于臺(tái)座1頂部的漿液箱5、緊壓機(jī)構(gòu)7、打孔機(jī)構(gòu)8和蒸發(fā)主體9，輸送帶3安裝于臺(tái)座1內(nèi)部頂側(cè)，漿液箱5前側(cè)壁底部緊固有刮刀6，通過(guò)刮刀6使?jié){液箱內(nèi)流出的漿料平鋪在輸送帶上，在漿料輸送移動(dòng)至緊壓機(jī)構(gòu)7下方時(shí)對(duì)漿料壓緊壓實(shí)，以提高材料的致密性，然后在漿料通過(guò)打孔機(jī)構(gòu)8下方后進(jìn)入蒸發(fā)主體9內(nèi)對(duì)漿料的溶劑蒸發(fā)處理以制成薄膜，并且可使打孔機(jī)構(gòu)8定期啟動(dòng)，以在薄膜上隔一段位置打出一片小區(qū)域的孔，以增大薄膜打孔部位的表面接觸面積，提高與其他材料的連接效果。

[0043]請(qǐng)參閱圖1、圖2和圖3，本發(fā)明提供一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，緊壓機(jī)構(gòu)7包括固定連接于臺(tái)座1頂部左右兩側(cè)的外框架71、安裝于外框架71內(nèi)部左右兩側(cè)的兩個(gè)氣缸72、連接于氣缸72底端部的移位架73、滑動(dòng)連接于移位架73頂部左側(cè)的側(cè)架74、滑動(dòng)連接于移位架73頂部右側(cè)的矩形塊75以及設(shè)置于移位架73底側(cè)的滾壓結(jié)構(gòu)76，在氣缸72的作用下使移位架73在側(cè)架74和矩形塊75底部作縱向高度位置的移動(dòng)調(diào)節(jié)，從而改變滾壓結(jié)構(gòu)76底部位置的高度，使其貼合在平鋪的漿料上對(duì)漿料產(chǎn)生擠壓，將漿料壓緊壓實(shí)的同時(shí)可排出部分溶劑，減少溶劑蒸發(fā)所需的時(shí)間，側(cè)架74和矩形塊75頂部均與外框架71相緊固，移位架73左側(cè)插入滑動(dòng)于外框架71內(nèi)部，提高移位架73的穩(wěn)定性，滾壓結(jié)構(gòu)76頂側(cè)貫穿設(shè)置于側(cè)架74內(nèi)部，以通過(guò)側(cè)架74起到支撐定位的作用。

[0044]其中，滾壓結(jié)構(gòu)76包括緊固于側(cè)架74右側(cè)的第一電機(jī)761、連接于第一電機(jī)761左側(cè)輸出端的第一錐齒輪762、嚙合于第一錐齒輪762頂部左側(cè)的第二錐齒輪763、貫穿設(shè)置于第二錐齒輪763內(nèi)部中側(cè)的轉(zhuǎn)桿764，在第一電機(jī)761的作用下使第一錐齒輪762通過(guò)與第二錐齒輪763的配合帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿764進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，包裹設(shè)置于轉(zhuǎn)桿764外表面底側(cè)的套塊765、連接于套塊765底側(cè)的第三錐齒輪766、嚙合傳動(dòng)于第三錐齒輪766底部右側(cè)的第四錐齒輪767以及連接于第四錐齒輪767右側(cè)中部的壓輥768，轉(zhuǎn)桿764頂側(cè)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于側(cè)架74內(nèi)部，套塊765貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于移位架73左側(cè)內(nèi)部，壓輥768右側(cè)中部與移位架73轉(zhuǎn)動(dòng)連接，并且壓輥768左部中側(cè)貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于移位架73內(nèi)部，以通過(guò)第三錐齒輪766和第四錐齒輪767的配合使壓輥768在移位架73內(nèi)側(cè)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使壓輥768在與漿料接觸后對(duì)平鋪的漿料進(jìn)行擠壓，且通過(guò)壓輥768高度位置的調(diào)節(jié)以控制漿料的厚度，轉(zhuǎn)桿764外表面底側(cè)縱向開設(shè)有條形槽7641，套塊765內(nèi)部設(shè)置有凸塊，并且凸塊插入滑動(dòng)于條形槽7641內(nèi)側(cè)，以便于套塊765在轉(zhuǎn)桿764表面調(diào)節(jié)高度位置，且在套塊765的高度移動(dòng)后通過(guò)轉(zhuǎn)桿764上條形槽7641與套塊765內(nèi)凸塊的配合使套塊765高度移動(dòng)后仍可進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

[0045]請(qǐng)參閱圖1、圖4、圖5、圖6和圖7，本發(fā)明提供一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，打孔機(jī)構(gòu)8包括左右兩側(cè)底部與臺(tái)座1相固定的門形架81、緊固于門形架81頂部左側(cè)的第二電機(jī)82、連接于第二電機(jī)82底部輸出端的抬壓結(jié)構(gòu)83、連接于抬壓結(jié)構(gòu)83底側(cè)的橫板84、緊固于抬壓結(jié)構(gòu)83底部右側(cè)的連接頭85以及設(shè)置于連接頭85底部的壓孔結(jié)構(gòu)86，在第二電機(jī)82的作用下使抬壓結(jié)構(gòu)83通過(guò)連接頭85帶動(dòng)壓孔結(jié)構(gòu)86進(jìn)行上下的往復(fù)移位動(dòng)作，從而通過(guò)壓孔結(jié)構(gòu)86與漿料的接觸使?jié){料間歇的進(jìn)行隔段打孔，使形成的薄膜上呈間斷式的具有孔槽，抬壓結(jié)構(gòu)83上下兩側(cè)分別貫穿設(shè)置于門形架81和橫板84內(nèi)部，橫板84左右兩側(cè)均與門形架81相固定，起到支撐定位的作用。

[0046]其中，抬壓結(jié)構(gòu)83包括與第二電機(jī)82底部輸出端相連接的軸桿831、包裹固定于軸桿831外表面中部的斜盤832，在第二電機(jī)82的作用下使軸桿831帶動(dòng)斜盤832進(jìn)行轉(zhuǎn)位動(dòng)作，分別接觸滑動(dòng)于斜盤832右部上下兩側(cè)的第一斜塊833和第二斜塊834、連接于第一斜塊833頂部的第一支套835、連接于第二斜塊834底部的第二支套836以及貫穿固定于第一支套835和第二支套836內(nèi)部的立桿837，通過(guò)斜盤832與第一斜塊833和第二斜塊834的配合使第一支套835和第二支套836帶動(dòng)立桿837進(jìn)行縱向移位，軸桿831底部與橫板84轉(zhuǎn)動(dòng)連接，立桿837底端部與連接頭85相緊固，以在立桿837的作用下使連接頭85縱向移位，立桿837右側(cè)上下兩部均開設(shè)有定位槽8371，并且立桿837上的兩個(gè)定位槽8371處分別呈縱向狀貫穿滑動(dòng)于門形架81和橫板84內(nèi)部，以起到支撐定位的作用，保證立桿837穩(wěn)定的進(jìn)行上下移位動(dòng)作。

[0047]其中，壓孔結(jié)構(gòu)86包括后部中側(cè)與連接頭85相緊固的框罩861，框罩861內(nèi)部中側(cè)緊固有槽架862，槽架862右側(cè)安裝有調(diào)位組件863，調(diào)位組件863前部左側(cè)連接有第一短桿864，在調(diào)位組件863的作用下使第一短桿864進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，第一短桿864另一端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有長(zhǎng)桿865，長(zhǎng)桿865設(shè)置有九個(gè)，且兩兩之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接以依次排列分布于槽架862前側(cè)，位于最左側(cè)的長(zhǎng)桿865上端與第二短桿867相連接，九個(gè)長(zhǎng)桿865內(nèi)部中側(cè)均貫穿設(shè)置有第一插桿866，且第一插桿866后側(cè)與槽架862滑動(dòng)連接，第二短桿867底側(cè)中部貫穿設(shè)置有第二插桿868，且第二插桿868后側(cè)與槽架862滑動(dòng)連接，在第一短桿864轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)九個(gè)長(zhǎng)桿865和第二短桿867進(jìn)行展開，從而使第一插桿866和第二插桿868進(jìn)行橫向移位后展開位置，以調(diào)節(jié)對(duì)平鋪的漿料的壓孔位置，調(diào)位組件863貫穿設(shè)置于框罩861上部右側(cè)，框罩861前部中側(cè)橫向開設(shè)有通槽，并且第一插桿866和第二插桿868前部貫穿設(shè)置于通槽內(nèi)側(cè)，以便于通過(guò)插桿對(duì)平鋪的漿料進(jìn)行壓孔。

[0048]其中，調(diào)位組件863包括緊固于槽架862右側(cè)的支承架8631、轉(zhuǎn)動(dòng)連接于支承架8631內(nèi)部右側(cè)的蝸桿8632、固定連接于蝸桿8632頂端部的旋頭8633、嚙合傳動(dòng)于蝸桿8632左側(cè)的蝸輪8634以及固定連接于蝸輪8634前部中側(cè)的連桿8635，旋頭8633貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)于框罩861上部右側(cè)，連桿8635后側(cè)與支承架8631轉(zhuǎn)動(dòng)連接，起到支撐限位的作用，保證連桿8635轉(zhuǎn)動(dòng)的穩(wěn)定性，連桿8635前端部與第一短桿864相連接，轉(zhuǎn)動(dòng)旋頭8633時(shí)通過(guò)蝸桿8632與蝸輪8634的配合使連桿8635帶動(dòng)第一短桿864進(jìn)行轉(zhuǎn)位動(dòng)作。

[0049]本發(fā)明的一種氮化鋁覆鋁陶瓷基板生產(chǎn)工藝，流延設(shè)備的工作原理如下：

[0050]第一、通過(guò)臺(tái)座1將流延設(shè)備放置在需要制成薄膜的位置，然后在漿液箱5中加入氮化鋁粉末與納米增強(qiáng)劑混合形成的漿料，以對(duì)薄膜進(jìn)行生產(chǎn)制備;

[0051]第二、漿液箱5中的漿料向下流動(dòng)以鋪在輸送帶3上，然后隨著輸送帶3的移動(dòng)使?jié){料被刮刀6刮平以平鋪在輸送帶3上方;

[0052]第三、在輸送帶3上平鋪的漿料進(jìn)入緊壓機(jī)構(gòu)7下方，使用者可控制啟動(dòng)氣缸72，在氣缸72的作用下使移位架73在側(cè)架74和矩形塊75底部作高度位置向下的移動(dòng)調(diào)節(jié)，從而改變壓輥768底部位置的高度，使其貼合在平鋪的漿料上對(duì)漿料產(chǎn)生擠壓，在移位架73向下移動(dòng)的同時(shí)，套塊765隨著移位架73同步移位動(dòng)作，在套塊765向下移動(dòng)后通過(guò)轉(zhuǎn)桿764上條形槽7641與套塊765內(nèi)凸塊的配合使套塊765高度移動(dòng)后仍可進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，然后控制啟動(dòng)第一電機(jī)761，在第一電機(jī)761的作用下使第一錐齒輪762通過(guò)與第二錐齒輪763的配合帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿764進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)桿764轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)通過(guò)第三錐齒輪766和第四錐齒輪767的配合使壓輥768在移位架73內(nèi)側(cè)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使壓輥768在與漿料接觸后對(duì)平鋪的漿料進(jìn)行擠壓，將漿料壓緊壓實(shí)的同時(shí)可排出部分溶劑，減少溶劑蒸發(fā)所需的時(shí)間;

[0053]第四、經(jīng)過(guò)壓緊壓實(shí)后的漿料進(jìn)入打孔機(jī)構(gòu)8下方，可轉(zhuǎn)動(dòng)旋頭8633以通過(guò)蝸桿8632與蝸輪8634的配合使連桿8635帶動(dòng)第一短桿864進(jìn)行轉(zhuǎn)位動(dòng)作，在第一短桿864轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)九個(gè)長(zhǎng)桿865和第二短桿867進(jìn)行展開，從而使第一插桿866和第二插桿868進(jìn)行橫向移位后展開位置，以調(diào)節(jié)對(duì)平鋪的漿料的壓孔位置，然后間歇的通斷第二電機(jī)82，通過(guò)控制第二電機(jī)82啟動(dòng)使軸桿831帶動(dòng)斜盤832進(jìn)行轉(zhuǎn)位動(dòng)作，通過(guò)斜盤832與第一斜塊833和第二斜塊834的配合使第一支套835和第二支套836帶動(dòng)立桿837進(jìn)行縱向方向的往復(fù)移位，從而使立桿837通過(guò)連接頭85帶動(dòng)第一插桿866和第二插桿868進(jìn)行上下的往復(fù)移位動(dòng)作，進(jìn)而通過(guò)第一插桿866和第二插桿868與漿料的接觸使?jié){料間歇的進(jìn)行隔段打孔，以呈間斷式的在漿料上所需的部位上形成孔槽，以增大漿料打孔部位的表面接觸面積;

[0054]第五、在對(duì)漿料打孔后，漿料進(jìn)入蒸發(fā)主體9內(nèi)對(duì)漿料的溶劑蒸發(fā)處理，以制成隔一段位置具有一片小區(qū)域的孔的薄膜。

[0055]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)例而已，并不用于限制本發(fā)明，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

說(shuō)明書附圖(7)