本發(fā)明提供的柔性光電探測器件的制備方法,通過飛秒激光對柔性透明基底的下表面進(jìn)行微納結(jié)構(gòu)化加工,實現(xiàn)對其上表面的近場光學(xué)相干增強(qiáng)效應(yīng);然后在此上表面沉積
鈣鈦礦薄膜,再在沉積有鈣鈦礦薄膜的表面蒸鍍電極獲取柔性光電探測器件,本發(fā)明提供的柔性光電探測器件的制備方法,在未經(jīng)飛秒激光加工的光滑表面上沉積制備鈣鈦礦薄膜,使光散射界面與鈣鈦礦薄膜材料界面分離,這樣既能使得基底材料實現(xiàn)近場光學(xué)增強(qiáng)、提高光活性層的光吸收和量子效率,又能保證光活性層的致密性和完整性,減少材料缺陷對器件性能的不利影響,工藝簡單。
聲明:
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