一種用于凈化磷化氫氣體的裝置,包括凈化罐,進(jìn)氣管,出氣管,電磁閥,磷化氫傳感器和濾盒;所述凈化罐的底部設(shè)有進(jìn)氣管;所述進(jìn)氣管的末端設(shè)有氣體均布器;所述凈化罐的頂部設(shè)有出氣管;所述進(jìn)氣管和出氣管上設(shè)有電磁閥;所述電磁閥與PLC控制器電連接;所述出氣管下方設(shè)有磷化氫傳感器;所述磷化氫傳感器與PLC控制器連接;所述濾盒放置在凈化罐內(nèi);所述濾盒內(nèi)填充用于凈化磷化氫氣體的固體處理劑。該用于凈化磷化氫氣體的裝置結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,且其凈化效率高達(dá)99%以上,無二次污染,不產(chǎn)生廢液,對環(huán)境零污染。
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“用于凈化磷化氫氣體的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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