本實用新型涉及一種真空氣浮軸承及其性能檢測裝置,該氣浮軸承包括至少一級抽氣通道,采用本實用新型的多級抽氣結(jié)構(gòu)的真空氣浮軸承,可以把提供給平面氣浮軸承的氣體抽排出真空腔體,將平面氣浮軸承對真空度的影響減小到可接受的范圍。該檢測裝置包括真空室;分別與真空室連接的多級抽氣管路、抽真空管路、進氣管路、氮氣管路,真空室還連接一真空室真空計,該性能檢測裝置能夠準(zhǔn)確的評估該真空氣浮軸承是否符合實際真空環(huán)境的使用需求,還可判斷該真空氣浮軸承工作時對真空環(huán)境的影響。
聲明:
“一種真空氣浮軸承及其性能檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)