本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體制程中的設(shè)備監(jiān)控方法,其中,包括如下步驟:步驟a、于半導(dǎo)體制程開始前制定一固定樣本數(shù)量的抽樣方案;步驟b、于工藝步驟開始前根據(jù)所述抽樣方案確定哪些晶圓需要被抽樣,哪些晶圓無需被抽樣,將需要被抽樣的晶圓平均的分配到每臺(tái)工藝設(shè)備;步驟c、執(zhí)行工藝步驟;步驟d、以所述抽樣方案抽樣,根據(jù)所述抽樣的結(jié)果,對(duì)所述被抽樣的晶圓進(jìn)行在線檢測;步驟e、重復(fù)步驟b至步驟d直至所有工藝步驟執(zhí)行完畢;步驟f、對(duì)所有晶圓進(jìn)行電氣性能檢測。本發(fā)明的有益效果是:通過抽樣方案和動(dòng)態(tài)風(fēng)險(xiǎn)標(biāo)志配合,使半導(dǎo)體制程中的潛在風(fēng)險(xiǎn)最小化。
聲明:
“一種半導(dǎo)體制程中的設(shè)備監(jiān)控方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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