本發(fā)明公開了一種檢測鎢化學(xué)氣相淀積設(shè)備異常情況的方法,涉及鎢化學(xué)氣相淀積的脈沖成核層工藝。包括以下步驟:對將進行鎢薄膜淀積的晶圓置于掃描工具下,得到初始微細(xì)顆粒數(shù),在鎢化學(xué)氣相淀積設(shè)備中通入
硅烷與六氟化鎢氣體進行還原反應(yīng),在晶圓表面生成鎢薄膜,將表面已經(jīng)生成鎢薄膜的晶圓置于掃描工具下,對掃描工具設(shè)定信噪比和掃描精度對淀積過鎢薄膜的晶圓表面進行掃描;將被掃描出鎢薄膜表面微細(xì)顆粒數(shù)相比初始微細(xì)顆粒數(shù)增加的晶圓放入顯微鏡下觀察,判斷此微細(xì)顆粒是否氣相成核鎢微細(xì)顆粒以確定鎢化學(xué)氣相淀積設(shè)備是否出現(xiàn)異常。通過本發(fā)明方法可以精確地確定鎢化學(xué)氣相淀積設(shè)備是否出現(xiàn)異常,并且不影響工藝持續(xù)性。
聲明:
“檢測鎢化學(xué)氣相淀積設(shè)備異常情況的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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