本實(shí)用新型公開了一種掃描電鏡原位
電化學(xué)檢測
芯片的多工位樣品臺(tái),該多工位樣品臺(tái)包括樣品臺(tái)支架、盛樣臺(tái)、樣品臺(tái)電路板、芯片固定裝置、芯排線接頭、法蘭處電路板、固定法蘭和I/O接口;所述樣品臺(tái)支架與所述盛樣臺(tái)同軸設(shè)置;所述樣品臺(tái)電路板設(shè)置在盛樣臺(tái)頂部;所述芯片固定裝置設(shè)在盛樣臺(tái)上;所述芯排線接頭一端與所述樣品臺(tái)電路板電路連接,另一端與所述法蘭處電路板電路連接;所述法蘭處電路板與所述固定法蘭固定連接;所述I/O接口居中設(shè)置在固定法蘭上。本實(shí)用新型具有多工位同時(shí)觀察樣品的功能,實(shí)現(xiàn)原位電化學(xué)檢測芯片在不同控電位環(huán)境下檢測樣品隨控電位變化的對比,提高了檢測效率。
聲明:
“掃描電鏡原位電化學(xué)檢測芯片的多工位樣品臺(tái)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)